EUVマスクブランクスは低膨張ガラス基板に複数種類のコーティングを施した部材。

EUVマスクブランクスは、低膨張のガラス基板上に光の反射や吸収、耐久性を調整する機能膜を積層した部材。... これに対し、AGCはマスクブランクスのさらなる低欠点化や膜の高性能化で対応する。

同社は低熱膨張合金の開発、製造を主力とし、熱膨張率係数が1度C当たり0・1ppm(1ppmは100万分の1)以下という“ゼロ熱膨張合金”を実用化している。既に極低温域ではマイナス269...

EUVマスクブランクスは、低膨張ガラス基板の表面に複数の組成から成る膜を積層したもの。

低膨張ガラス基板の表面に、複数の組成からなる膜を積層した構造をしている。

今後は加工業者と連携し、低コストの量産技術を確立する。... 銅並みの低膨張率や200度Cに達するガラス転移温度をもつ。

低膨張性合金や磁性合金などの高機能材料やレアメタルは、最先端の研究開発に欠かせない。

【相模原】オハラは13日、極低膨張ガラスセラミックス「クリアセラム―Z=写真」の生産能力を増強すると発表した。... オハラの極低膨張ガラスセラミックスは、一定の温度変化に対する体積変化が極め...

販売量は明かしていないが、日本ゼオンの負極用バインダーは低膨張率などが特徴で、業界シェアは5割超にのぼる。

レーザーを利用して半導体材料などの熱膨張率を測定する同社の技術とJAXAの宇宙技術を融合して、熱膨張率の精度を同社従来比で1ケタ向上させ、1度C当たりプラスマイナス1億分の1以下を目指す。... 新た...

高耐熱で熱膨張係数であるCTEが低いタイプを試作開発した。

熱による膨張が少ない低膨張合金を使った鋳造技術が強みだ。

市内には医療機器メーカーが集積しており、合金チタンや低膨張合金、電磁鋼板などを開発用途に合わせて提供する。

熱膨張率がシリコンに近く、高温処理で問題になる反りの発生を抑制できるのが特徴。... フォトマスクなどの製造で培った研磨や洗浄、検査技術を応用し、シリコンに近い性質を持つ低膨張の特殊ガラスを加工する。...

ガス温度で最大50度C、同150度C対応のガス流量制御器を製品化していたが、半導体素子の微細化や低消費電力化を反映し、材料選定範囲を広げられる同250度Cへの対応が求められていた。... 熱膨張を考慮...

〈愛知県〉▽ヴィッツ=故障未然防衛機能を有した高信頼ソフトウエアプラットフォームの開発▽テービーテック=高精度ロボット計測システム開発▽アタム技研=組み込みソフトウエアによる燃...

銅でできた多数の円柱状部材を、同数の円筒状の穴が開いた低膨張合金の板に入れ、薄い銅板で上下から挟んだ構造。部材と穴の間に一定のすき間があり、外部からの熱で銅部材が膨張を起こしても、低膨張合金の板はその...

三つ目は低膨張タイプ。ゴムの素性を低下させる添加剤を含んだギアオイルに72時間漬けても、体積膨張率が15%にとどまる。既存品は膨張率が23%と、20%を超えていた。

強力な消火能力をもつ中膨張泡と、遠くまで放射できる低膨張泡の2種類をホース先端のノズルで切り替えて放射する。... 泡は発泡倍率が低倍率であるほど放射距離が長い。「ミデックスII」は工場で火災が生じた...