- トップ
- 検索結果
記事検索結果
3件中、1ページ目 1〜3件を表示しています。 (検索にかかった時間:0.002秒)
開発を率いた宮井博基技術五部長は「クリーンルーム内の半導体生産で装置のフットプリント(占有床面積)を小さくできることは大きなメリット。
だが、開発メンバーを率いた宮井博基技術五部長は「フォトマスクになると難易度が全く違う。... 宮井部長は「それぞれの要素部品メーカーと密接に連携し、試行錯誤しながら必要なスペックに向けて開発を進めてい...
宮井博基技術五部長は「EUV光源を高出力で安定して発生させ、いつでも検査できるようにする技術的な課題が大きかった」と振り返る。 ... だが、採用したEUV光は「従来と原理や構造がま...