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窒化シリコンの薄膜の両面に金の微細パターンを形成する。... 窒化シリコン製の厚さ100ナノメートルの誘電体の両面に、金の厚さ30ナノメートルの微細パターンができる。... 微細パターンを形成するため...

リンテック、耐熱性2倍のフォトマスク用防塵カバー開発 (2023/12/20 素材・建設・環境・エネルギー2)

ペリクルは微細パターンが描かれたフォトマスクの表面に装着する薄い保護膜で、異物の付着を防ぐことでフォトマスクの検査・交換頻度を低減する。リンテックは半導体回路パターンの微細化に対応できるEUV露光装置...

メタレンズは微細構造パターンで偏光を曲げる。... 窒化ガリウムで微細パターンを形成して偏光を制御する。偏光が0度の光は焦点距離が24・5ミリメートル、90度の光は28・6ミリメートルになるようパター...

NICT、深紫外LEDの配光制御 取り出し効率1.5倍 (2023/11/2 科学技術・大学1)

光の出射面に微細な同心円パターンを形成して光の向きを制御する。... 光が放たれる窒化アルミニウム表面に木の年輪のような同心円状の微細パターンを形成した。

遮熱・高速無線通信両立 東北大、透明窓実現へ (2023/10/19 科学技術・大学2)

アルミニウムの十字構造パターンを460ナノメートル(ナノは10億分の1)周期で並べると、光や電波の周波数ごとに反射や透過を切り替えられる。... ガラス基板上にアルミの微細パターンを形...

三井化学、ペリクル事業拡大 三井化学EMSが営業開始 (2023/7/6 素材・建設・環境・エネルギー2)

ペリクルは半導体や液晶パネルの露光工程において、微細パターンが描かれたフォトマスクの表面に装着する薄い保護膜。

大日印、エンコーダーディスク参入 カラーフィルター技術応用 (2023/7/6 電機・電子部品・情報・通信1)

エンコーダーディスクは微細な目盛りが刻まれた円板。... エンコーダーディスクは微細パターンを形成するフォトリソグラフィー技術で製造する。

【長野】タカノは長野県工業技術総合センターと共同で、シリコンウエハーにメッキで微細パターンを形成する表面処理技術を開発した。... 小型・高精度な金属配線パターンが必要な分野への適用が期待できる。.....

メタサーフェスは金属などの微細パターンを作り、特定の電磁波を曲げたり反射させたりする。今回0・31テラヘルツの電磁波に対して反射率は1%、透過率が87%、屈折率は14のパターンを開発し...

物質表面にナノサイズ(ナノは10億分の1)の凸凹パターンを形成し、表面を伝わる波を制御する。... 圧電体の表面に金属の微細パターンを形成した。... このパターンと反転させたパターン...

半導体製造プロセスでは半導体ウエハー上に微細パターンを作り込むが、微細化の進展に加えてEUVリソグラフィー特有の課題も生じており、要求される加工精度の達成は容易ではない。設計上は直線で加工されたライン...

三井化学、旭化成のペリクル事業買収 FPD向け強化 (2022/5/30 素材・医療・ヘルスケア)

ペリクルは半導体やFPDの露光工程で微細パターンの描かれたフォトマスクに塵などが付くことを防ぐ膜製品。設計通りのパターン形成を助ける。

同サービスは、ナノメートル(ナノは10億分の1)レベルの超微細な金属パターン印刷技術で作成した真贋判定ラベルが核となる。... 物流倉庫など供給網内の各場所で、ラベルの超微細パターンを...

青山精工/独自の工夫で平面度追求 青山精工(秋田県鹿角市)は、超音波ロータリー加工機でのセラミックスなどの難削材・硬脆性材の微細加工品は...

微細パターン構造で光や電波を屈折させる技術を研究する。

TDK、巻き線コイルを80%薄型化 車用スマホ充電器向け (2020/10/15 電機・電子部品・情報・通信2)

アキレスと共同開発した薄いフィルム状に銅の微細パターンを形成する技術と、TDK独自のフェライト(磁性)材料を組み合わせ、厚さを0・74ミリメートルにした。... これに対し、新製品は、...

【川崎】SCIVAX(サイヴァクス、川崎市幸区、田中覚社長、044・599・5051)は、微細パターンを加工する研究開発用ナノインプリント装置を6月下旬に発売する。... ナノインプリ...

微細加工のノウハウ応用 協同インターナショナル(川崎市宮前区、池田謙伸社長、044・853・2611)は、微小電気機械システム(MEMS)の開発で培っ...

AGC、露光装置用フォトマスク材増強 生産能力3倍に (2018/11/29 素材・ヘルスケア・環境)

半導体チップの回路パターンの微細化に必要なEUV露光技術の需要拡大に対応する。... 半導体チップの回路パターンの微細化は、計算処理の高速化やデータの大容量化、高集積化に寄与する。... EUV露光技...

(名古屋・市川哲寛) 【特化“世界初”】 C―TEFsは、デバイス作製装置や微細パターン露光装置、ウエハーを薬液で洗浄する科学処理室などを備える。

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