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第66回十大新製品賞/本賞レーザーテック（2024/2/9 機械・ロボット・航空機）

自社開発のURASHIMAは、高速回転するルツボ内面の溶融スズ(Sn)に小出力レーザーを照射し、EUV発光させる独自のレーザー生成プラズマ(LPP)方式により検査範囲を...

2023年第66回十大新製品賞（2024/1/4 十大新製品賞）

高速回転するルツボ内面の溶融スズ(Sn)にレーザーを照射してEUV発光させる独自のレーザー生成プラズマ(LPP)方式により、検査範囲を高輝度で照らし出す。

レーザーテック/独自のEUV光源で欠陥検査（2023/12/25 新製品フラッシュ２）

高速回転するルツボ内面の溶融スズ(Sn)にレーザーを照射し、EUV発光させる独自のレーザー生成プラズマ(LPP)方式を採用。

レーザーテック、高輝度EUVで欠陥検出マスク検査装置を受注（2023/12/12 電機・電子部品・情報・通信１）

高速回転するルツボ内面の溶融スズ(Sn)にレーザーを照射してEUV発光させる独自のレーザー生成プラズマ(LPP)方式により、検査範囲を高輝度で照らし出す。

半導体マスク欠陥、高感度検出レーザーテックが高輝度EUVプラズマ光源開発（2023/10/11 電機・電子部品・情報・通信）

高速回転するルツボ内面の溶融スズ(Sn)にレーザーを照射してEUV発光させる独自のレーザー生成プラズマ(LPP)方式により、検査範囲を高輝度で照らし出す。... 真空中...

部品にセラミックスを使った機械式ポンプで、溶融スズのような極めて高温の液体の輸送を目的としている。... 太陽光や風力で発電されたエネルギーを熱エネルギーの形で溶融スズや溶融シリコンに蓄えておき、必要...