半導体製造のエッチング加工をはじめ、腐食性ガスを使う装置やラインに適する。装置に複数あるチャンバーへのガス供給で圧力変動が生じた時に過敏反応し、瞬間的に流量が乱れる課題を解消でき、生産の安定化を実現す...

空間内に浮遊する腐食性ガスを、配合する特殊銅粒子が吸着・中和。製品の腐食を防止する。... コンパクトな設計と多機能性が魅力。

製品化するガス腐食試験機は、試験槽(幅3×奥行き2×高さ1メートル)、マスフローコントローラーによる試験ガス供給装置などで構成。... 二酸化硫黄、硫化水素など4種...

耐薬液性に優れ、屈曲性や強度面で異なるフッ素樹脂をそれぞれに使うダイヤフラム(上部の弁)と本体を溶着・一体化し、すき間をなくした。課題だった数ナノメートル(ナノは10億分の1&...

フェライトPPS(ポリフェニレンサルファイド)コンパウンドの設計の見直しなどで、射出成形時での高靱(じん)性を実現したほか、腐食性ガス発生量の低減に成功。... 冷熱衝...

日新電機は腐食性ガス検知センサーを発売した。... 硫化水素に反応して腐食・変色する銀製の反射板を内蔵し、有線・無線の2機種のゲートウエーを通じて変色状況をリモート監視す...

【京都】日新電機は腐食性ガス検知センサー(写真)の外販を始めた。... 精度向上や腐食リスクのデータ蓄積のため、2021年4月から同社の水処理施設向け配電盤などに先...

マイナス55度―プラス260度Cの温度に耐え、アウトガス(揮発ガス)の放出も少ない。高温プラズマや腐食性ガスにさらされる半導体製造工程の真空容器内での使用や、電動化で高温でのパワーデバ...

腐食性ガスによる損傷予兆の検知機能を備えるほか、各種産業用オープンネットワークに対応。... 世界初の腐食性ガス環境検知回路を採用し、硫化水素などによる故障予兆を検知することで利用者に周辺環境の見直し...

三菱電機は4日、プリント基板向けの金属腐食センサーを開発したと発表した。... 開発品は硫黄化合物など大気中の腐食性ガスによる金属部品の腐食進行度を検知する。... 複数のセンサーを組み合わせることで...

新製品は密閉型により盤への格納が要らず省スペースで、腐食性ガスなどが発生する使用環境でも設置が可能。

日本バルカー工業は中芯と外皮にフッ素樹脂を使い、腐食性ガスに対し優れた耐久性を持たせたシール材を開発した。塩素や硫化水素など、腐食性ガスを取り扱う工場に提案する。同社は国内で腐食性ガスを利用する市場が...

回転ローターが多段化しているのが特徴で、気体ガスの圧縮機や有機ベーパーの真空減圧ポンプとして活用されている。 ルーツ式ドライコンプレッサーで蒸気温度を昇温、昇圧させることができるため...

神戸大学大学院科学技術イノベーション研究科の若井暁特命准教授とクラレは共同で、金属の微生物腐食を防ぐ安全性の高い薬剤を開発した。... 微生物腐食は環境中の特定微生物が腐食性ガスを出し、金属の機器や配...

ただ、中国で腐食性ガスなど耐薬品性が求められる半導体製造装置の部材向け需要が急伸しており、もう一段の能力増強に乗り出す。... 独自の還元窒化法により、優れた熱伝導性や高電気絶縁性、各種半導体に近い熱...

「半導体チャンバー向けなど腐食性ガスが通るバルブや、ロボハンドのエアーチャック向け表面処理などが忙しい」と古屋十三栄(とみたか)社長。

【プラズマ腐食】 半導体デバイスの主要製造プロセスの一つにプラズマエッチングがある。シリコンウエハーなどを腐食性ガスのプラズマにさらして、溝や穴などの微細加工を施す工程である。......

同ボイラは腐食性物質や環境汚染物質を含むゴミや廃プラスチックを原料とする固形燃料のほか、さまざまな廃棄物やスラッジ(汚泥)などを燃料にできる。流動床部を燃焼セルと収熱セルに分けることで...

採用拡大には過酷な環境でも長期間使用できる耐久性が必要と見て、新モデルを開発した。プラントや下水処理場などでの使用を想定し、腐食性ガス対策を施した機種も用意した。

特許取得の被膜剤は「スーパーサーモ」の商品名で4年前から販売し、千葉県内のゴミ焼却場の流動床式ガス化溶融炉などで採用実績がある。ガス化溶融炉は1200―1350度Cの高温度域で燃やすため、温度計測の熱...