[ 科学技術・大学 ]

日立、AI設計システム開発−3DプリントでMEMS

(2017/2/16 05:00)

  • 試作したMEMS振動センサー(日立提供)

日立製作所は15日、半導体を立体造形する3Dプリント技術を開発し、微小電気機械システム(MEMS)センサーの試作に成功したと発表した。3カ月から1年程度かかっていた設計製造期間を1カ月に短縮できるという。センサーの試作や実用化検証などに提案していく。

3Dプリント技術にはイオンビーム加工を採用した。ビームで半導体材料を削ったり、材料ガスを吹き付けながらイオンビームを当てて物質を堆積させたりできる。削る加工と積み上げる加工の両方に対応する。

加工装置はプラズマイオン銃と電子銃を備えており、加工精度を確認しながら造形可能。静電容量式の20キロヘルツ振動センサーを試作したところ、1個当たり5時間で製造できた。

また人工知能(AI)技術で、MEMSセンサーの設計支援システムも開発した。100万以上のセンサー設計データの中から要求仕様に近い設計候補をAIで選び出す。

(2017/2/16 05:00)

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