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改革・産総研(5)研究テーマ−時代の「趨勢」見極めて（2017/5/16 総合１）

産総研が出した答えが、極少量多品種生産が可能なミニマルファブだ。

不撓不屈/大日本科研(4)「多品種少量」志向（2017/3/3 中小企業・地域経済１）

それが近年、ミニマルファブへの参画という形で現れた。ミニマルファブは直径12・5ミリメートルの小型ウエハーを採用し、大幅な投資削減を目指す半導体製造プロセス。... ただミニマルフ...

不撓不屈/大日本科研(3)米社と共同で直接描画（2017/3/2 中小企業・地域経済１）

それが「ミニマルファブ」だった。

未来を拓く日本力(4)変わる半導体産業多品種少量、IoT向け開拓（2017/1/10 総合１）

【日本発の潮流】直径12・5ミリメートル(0・5インチ)の小さなウエハーを1個ずつ加工することで多品種少量生産を実現するのが、産業技術総合研究所などが進める半導体製...

投資額は現行の1000分の1-横河ソリューションサービス、半導体設備「ミニマルラ... （2016/3/31 機械・ロボット・航空機１）

横河ソリューションサービス(東京都武蔵野市、奈良寿社長、0422・52・0439)は30日、小規模半導体工場「ミニマルファブ」の専用施設「横河ミニマルアプリケーションラボ=写真...

インタビュー/NEDIA会長・斉藤昇三氏「半導体、少量生産に対応」（2016/2/23 電機・電子部品・情報・通信２）

◇ ◇ ―ミニマルファブを採用したファウンドリーは業界初です。... 実際にNEDIAの会員企業にヒアリングするとミニマルファブへの期待は大きい。... 【用語】ミ...

例えばマシニングセンターやプレス機など機能を絞った小型専用機を並べるミニマルファブ(最小限の工場)と、いくつものツールを使い分ける双腕ロボを比べ、どちらが作れる部材が幅広く、10―20...

産総研の企業連携&VB支援(36)陽電子ビーム空孔計測装置（2014/12/18）

最近はミニマルファブ用の超小型イオン注入装置の開発にも取り組んでいる。

最近力を入れているのが「ミニマルファブ」だ。... 大日本科研は、産業技術総合研究所が主導するミニマルファブのコンソーシアム「ファブシステム研究会」に参画している。

小型半導体製造設備が実用化−“ミニマル化”で巻き返し（2014/8/20）

産業技術総合研究所が中心となって研究開発を進める「ミニマルファブ」だ。... こうした既存システムとは対極に位置するのがミニマルファブ。... 原グループ長はミニマルファブに対する関心の高まりに笑顔を...

安全性につながると高い評価をいただいている」「ミニマルファブと呼ばれる小規模半導体製造システムの領域にも参入したい。

産業技術総合研究所とミニマルファブ技術研究組合は、クリーンルームが不要で設置面積が既存設備の約100分の1となる半導体製造システム「ミニマルファブ」を製品化し、自動車関連メーカーから初受注した。......

産総研のR&D(84)ミニマルファブ構想（2011/11/24）

中小企業がミニマルファブを活用し、日本の産業が、その力を真に発揮する新しい道が拓けてゆくだろう。 ... 5年前に、局所クリーン化技術をベースにスーパークリーンルームの要らないミニマ...