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表面にCNCを合成したアルミナ粒子をはく離槽でイソプロピルアルコールに浸し、超音波を当てながら撹拌してCNCをはく離させる。
東芝と大日本スクリーン製造は4日、半導体の製造ライン向けにイソプロピルアルコール(IPA)除去装置を共同開発したと発表した。
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表面にCNCを合成したアルミナ粒子をはく離槽でイソプロピルアルコールに浸し、超音波を当てながら撹拌してCNCをはく離させる。
東芝と大日本スクリーン製造は4日、半導体の製造ライン向けにイソプロピルアルコール(IPA)除去装置を共同開発したと発表した。
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