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記事検索結果
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製造でポイントとなる露光工程は、同30ナノメートルプロセス品では解像度を向上するため、ArF(フッ化アルゴン)液浸露光装置を用いる。同20ナノメートルプロセス品では露光を2回実施して微...
このため、回路をウエハーに焼き付ける露光工程に1台40億円するフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置を複数台導入。これを含め100台近くの露光装置を導入する。 ... 同30ナノ...