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記事検索結果
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同社は1997年に同材料事業を立ち上げ、直江津工場(新潟県上越市)で当時最先端のフッ化クリプトン(KrF)フォトレジストの生産を開始。
希ガスはクリプトン(Kr)・キセノン(Xe)の混合ガスと、ネオンの生産設備を設置。... 精製後の生産能力はクリプトンが年産200万リットル、キセノンが同25万リットル...
千葉県君津市に希ガス生産設備を設置し、クリプトン(Kr)、キセノン(Xe)とネオンを生産する。... ネオンは他の希ガスと併産され、先行してクリプトン、キセノンを25年...
24年に稼働予定でクリプトン、キセノンの生産能力は現在の約2倍となる見込みだ。
半導体向け需要拡大 大陽日酸はJFEサンソセンター(広島県福山市)の福山工場に希ガス製造設備を新設しクリプトン(Kr)、キセノン(Xe)...
キヤノンは13日、光源にフッ化クリプトン(KrF)を使う半導体露光装置の生産性向上に成功したと発表した。
希ガスに関しては、国内に輸入するネオン、クリプトン、キセノンのうち6%程度をロシア、ウクライナに依存している。... ネオン、クリプトン、キセノンの生産量について、ロシア、ウクライナの世界シェ...
i線に続く非先端技術のフッ化クリプトン(KrF)の引き合いも強く、両装置の販売台数は前年度比10台増の24台の予想だ。
ただ、半導体はEUVだけではできず、フッ化アルゴン(ArF)液浸、ArFドライ、フッ化クリプトン(KrF)、i線まで含めた装置が必要になり、引き続きそれらの装置の改善も...
中古装置を中心に、光源にi線、フッ化クリプトン(KrF)を用いた非先端の装置が伸びる。
光源にi線、フッ化クリプトン(KrF)を用いた比較的古い技術だが、IoT(モノのインターネット)や人工知能(AI)の進展、電動車の普及などを背景に半導体...
「極端紫外線(EUV)など先端材料に加え、フッ化クリプトン(KrF)をはじめ既存材料も伸びた」と手応え。
