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東レエンジ、半導体向け超音波検査関連機器 重量4分の1 (2021/12/1 電機・電子部品・情報・通信1)

東レエンジニアリングは30日、半導体検査装置などで使われている超音波送受信センサーの駆動装置「パルサー・レシーバー」を12月に本格販売すると発表した。

同システムは超音波パルサー・レシーバーやエアプローブ、日本ナショナルインスツルメンツのプログラム開発ソフトウエア「LabVIEW」などで構成する。

同システムは超音波パルサー・レシーバー(写真)やエアースキャナー装置などで構成され、エアープローブを使って航空機部品や自動車部品などの傷を検出できる。

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