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日立ハイテクノロジーズは半導体ウエハーの成膜装置事業で、フィンランドのピコサンと協業する。ピコサンの成膜装置に日立ハイテクのプラズマ技術を組み合わせ、プラズマ原子層堆積(PE―ALD)...
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日立ハイテクノロジーズは半導体ウエハーの成膜装置事業で、フィンランドのピコサンと協業する。ピコサンの成膜装置に日立ハイテクのプラズマ技術を組み合わせ、プラズマ原子層堆積(PE―ALD)...
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