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レジスト樹脂の量産には超低不純物の品質管理が不可欠。

機能化学、半導体回復に備え (2024/5/6 素材・建設・環境・エネルギー)

富士フイルムも需要回復を見込み、5月下旬に先端半導体製造時のコスト減と省電力化に貢献する半導体材料「ナノインプリントレジスト」を発売する。同材料はウエハー上のレジストに回路パターンをハンコのように押し...

LSI工場はレジスト塗布・現像関連装置、シリコンウエハーの熱処理を行う酸化・アニール炉などを備える。

GRRMによる化学反応の研究は用途が広く、例えば半導体ウエハーに塗布して微細なパターンを形成するレジスト材料の分子シミュレーションなどにも用いられている。

その後もフォトマスクブランクス、フッ化アルゴン(ArF)レジスト、多層膜材料、極端紫外線(EUV)レジストなどを手がけた。

CFはディスプレーの色再現を担う部材で、同社はレジストインキなどを手がける。

JSRは同材料のほかレジストをはじめとする複数の実装材料を手がけており、多様化する後工程領域の要求にトータルで応える。

JSR、感光性絶縁材料を拡充 先端半導体パッケージ向け (2024/1/17 素材・建設・環境・エネルギー2)

JSRは同材料のほかレジストをはじめとする複数の実装材料を手がけており、多様化する後工程領域の要求にトータルで応える。

電子材料向け溶剤では国内シェアトップで、主にレジストメーカー向けに販売している。... 半導体の集積度は高まり配線の多層化が進んでいるため、レジストは何度も使う必要がある。

丸善石化、機能化学品で攻勢 東南アに新拠点検討 (2023/11/21 素材・建設・環境・エネルギー2)

千葉で半導体レジスト材増産 丸善石油化学(東京都中央区、馬場稔温社長)は、機能化学品の事業展開で攻勢をかける。... また千葉工場(千葉県市原市)では...

VACUUM2023真空展/紙上プレビュー(5) (2023/11/3 機械・ロボット・航空機)

【横浜油脂工業/洗浄剤兼ガラスエッチング剤】 横浜油脂工業(横浜市西区)は、アルカリ洗浄剤兼ガラスエッチング剤「セミクリーンGE―X&#...

もともとダイセルの半導体関連向け材料はレジスト用溶媒や洗浄工程など前工程向けがメーン。

エポキシ樹脂やドライフィルムレジストなどの機能化学品に加え注射剤・固形剤の国内設備増強、アジアやメキシコにおける自動車部品の増産投資などに総額910億円を充てる。

ニュース拡大鏡/JSR、産業革新投資機構傘下で非上場化 構造改革推進 (2023/6/27 素材・建設・環境・エネルギー1)

実際にJSRは21年には極端紫外線(EUV)の露光効率を高める金属系レジストを製造する米インプリアを約450億円で買収。また、同社拠点や国内でレジスト製品の増産体制を整備するなど、先端...

感光材料であるフォトレジストは、EUVでは光の粒(量子)としての効果が大きくなるため、粒子が細かく一様でかつ吸収率が大きい金属含有レジストが使われるようになってきた。 ...

3品目はフッ化ポリイミド、レジスト、フッ化水素。

日本政府は、主に半導体製造に使うフッ化水素、フッ化ポリイミド、レジストの3品目の対韓輸出管理について、2019年7月に実施した厳格化措置を緩和することを決めた。... フォトレジストは日本企業が世界シ...

解除の対象となるのはフッ化ポリイミド、レジスト、フッ化水素の3品目。

経産省は2019年7月、半導体や有機ELディスプレーに使われるフッ化ポリイミド、レジスト、フッ化水素について韓国への輸出手続きを厳格化した。

30年度の売上高倍増に向け、既存事業では精密洗浄サービスの拠点拡充や、フッ化アルゴン(ArF)光源レジスト用ポリマーおよび洗浄用薬剤などの増産を検討。EUVレジスト用ポリマーや有機金属...

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