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レジスト原料事業で「世界の販売量予想を上回る(ペースで)増強を計画している」と話すのは、大阪有機化学工業取締役執行役員の本田宗一さん。 ArF...
大阪有機化学工業は8日、金沢工場(石川県白山市)に半導体レジスト用アクリルモノマーの研究・試作設備を増設すると発表した。... 需要が増加するArF(フッ化アルゴン&...
最先端のEUV(極端紫外線)レジスト用モノマーも、レジストメーカーの採用が徐々に拡大している。 ... ArFレジストの需要拡大とEUVレジストの進展を踏まえ、両レジ...