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レーザーテック、薄型ディスプレー用大型原版検査装置を改良 （2017/5/22 電機・電子部品・情報・通信）
【横浜】レーザーテックは、薄型ディスプレー(FPD)用大型マスクブランクス(原版)欠陥検査装置「LBIS(エルビス)」を改良し、近く投入する。... 同...
レーザーテック、大型マスクブランクス向け検査装置を投入−高感度・短時間実現 （2016/4/21 機械・ロボット・航空機２）
【横浜】レーザーテックは、薄型ディスプレー(FPD)生産で使用する大型マスクブランクスの欠陥を高感度かつ短時間に検査できる装置の上位モデル「LBIS(エルビス)」を発売...
