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SEMITECは2024年3月期までに、温度センサー用薄膜サーミスタの生産能力を現状比約2・5倍に引き上げる。... 千葉工場に薄膜形成用のスパッタ装置や回路をつくるパターニング装置などを導入する。....
薄膜サーミスタ(温度測定センサー)2個を使用。... 熱パルスレーダーは直径1ミリメートル程度のプローブ(探針)の先端部にSEMITEC製の薄膜サーミスタを2個使用した...