日立、有機物をナノ解析−走査型プローブ顕微鏡で熱ダメージ与えず

日立製作所は徳島大学、東海大学と共同で、熱によるダメージを与えずに、有機物質や生体物質をナノメートル（ナノは１０億分の１）レベルで解析できる走査型プローブ顕微鏡の新しい計測技術を開発した。従来手法は熱ダメージが避けられず、熱に弱いこれらの物質の解析には不向きだった。ＩｏＴ（モノのインターネット）や人工知能（ＡＩ）の普及で増える先端デバイスや高機能材料のナノレベル解析に使える。

８日に米ネバダ州で開かれた分析関連の国際学会（ＳｃｉＸ）で発表した。

通常の走査型プローブ顕微鏡は、測定プローブ（探針）の先端に強いレーザー光を当てて計測するため、プローブの近くに置く物質の表面にもレーザー光が当たってしまう。これに対して日立などは今回、プローブの上方にレーザー光を当て、そこから伝わって発生した直径約５０ナノメートルの光スポット（近接場光）のみを物質に当てて計測する新手法を考案した。

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