- トップ
- 機械ニュース
[ 機械 ]
(2017/4/17 05:00)
【横浜】光学技研(神奈川県厚木市、岡田幸勝社長、046・224・2555)は、厚さ10マイクロメートル(マイクロは100万分の1)以下の単一結晶板による紫外光波長板「MT波長板」を開発した。結晶板を公差0・1マイクロメートル程度の精度で研磨加工し、手作業で洗浄した後、両面に反射防止膜を成膜する。半導体露光装置の高精度検査などに適した紫外光波長板の需要が高まっていることに対応した。
光学技研は研磨加工や反射防止膜の成膜などのノウハウを生かして、波長板の極薄化に成功。岡田社長は「厚さ5マイクロメートルまで薄くできる。このレベルはおそらく世界一」と話す。光学検査の高精度化につながる深紫外光や真空紫外光を用いた波長板は単一結晶板での加工が難しく、これまで2枚の結晶板を貼り合わせて製作していた。
波長板は光の偏光を制御するための部品で計測やレーザー加工などに使われる。偏光をどのように制御する...
(残り:274文字/本文:674文字)
(2017/4/17 05:00)
※このニュースの記事本文は、会員登録 することでご覧いただけます。
Journagram→ Journagramとは
PR
機械のニュース一覧
- 日本熱源システム、CO2冷媒式冷凍機の生産能力 20年に2倍の年300台へ(18/01/22)
- ソディック、中国製MCを国内販売 新会社立ち上げ(18/01/22)
- 次代見据えて 空調設備工事3社の改革(下)三機工業社長・長谷川勉氏(18/01/22)
- スギヤス、西尾工場に常設展示施設 パレット搬送機器など“体感”(18/01/22)
- ホーコス、新事業部を発足 食品・医薬品向け製品開発を加速(18/01/22)
- 天然ガスと水素で安定燃焼 MHPS、発電用大型ガスタービンで実験(18/01/22)
- 三浦工業、蒸気ボイラ効率97%の油焚き小型モデル投入(18/01/22)
- 住友電工、切削工具生産2割増 80億円投じ、北海道に新工場棟(18/01/22)
- 三井造、フィリピン社からコンテナクレーン受注(18/01/22)
- 横河電機、水源施設の監視・制御 中国でシステム更新受注(18/01/22)
- ちょっと訪問/テイコクテーピングシステム−先端半導体、製造支える(18/01/22)