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現在の主力製品はシリコンウエハーのエッジ研磨装置だが、元々の出発は工作機械メーカーだったこともあり、以前からJIMTOF出展を希望していたという。

アステラテック(多摩区)のガラスやシリコンウエハーなど実験用基板が切断できる研究開発向け裁断機「アルタイル」など、8製品・技術を認定した。

半導体のシリコンウエハーをUVで洗浄・改質する光表面処理装置や、電子部品への印字に用いるUV硬化装置などを展開してきた。

同装置はシリコンウエハーに加速させたイオンを注入する。

表面改質展2020 ONLINE/注目の製品・サービス(1) (2020/10/27 機械・ロボット・航空機1)

同社のALDは粉末粒子やシリコンウエハーなどに表面不動態化や電気絶縁性など多様な機能を付与する。

「世界のシリコンウエハー市場は現状比で倍以上になるとの試算がある。

エレクトロニクス応用ではグラフェンは化学気相成長法により1000度C程度の高温で銅箔(はく)上に合成し、シリコンウエハーに転写して成膜するが、転写工程で生じる金属や有機物の残渣(...

阪大の知見や評価設備などを生かし、6インチシリコンウエハー上にSiGeやSiSnの層をナノ(ナノは10億分の1)メートル単位で、形成する技術を開発する。

さあ出番/フェローテックHD社長・賀賢漢氏 構造改革で長期成長 (2020/8/31 電機・電子部品・情報・通信)

中国進出から約28年、主力の半導体用シリコンウエハーは中国の顧客から最高の品質と言ってもらえるほど、信頼を得た。

またグループ会社のシリコンテクノロジー(東京都中央区)で半導体用シリコンウエハーを販売しており、周辺へ事業を広げたい。半導体ウエハー用研磨テープや超薄型電池向け特殊電極の事業化を目指す...

中でも従来のシリコンウエハーを使用したパワー半導体に加えて炭化ケイ素(SiC)や窒化ガリウム(GaN)といった材料を使用したパワー半導体が注目を集めている。 &...

通常のシリコンウエハーではない、難しいワークに取り組んできた経験がこれから花開くはずだ。

AGC、フォトマスクブランクス生産能力倍増 EUV露光用 (2020/7/28 素材・医療・ヘルスケア)

EUVマスクブランクスの表面に半導体チップの回路原版を形成したものがEUVフォトマスクで、その回路をシリコンウエハー上に転写して半導体チップを形成する。

フェローテック、中国新工場の投資上積み 60億円増 (2020/7/21 電機・電子部品・情報・通信1)

フェローテックホールディングス(HD)は中国安徽省に新設する半導体シリコンウエハーの再生工場への投資額を当初予定から約60億円増の約136億6000万円に引き上げた。... 新工場を生...

名大発VB、6億円調達 電子銃生産体制を強化 (2020/7/17 電機・電子部品・情報・通信)

シリコンウエハーに電子ビームを照射して欠陥を検出する装置で、主流の「電界放出(FE)電子銃」に比べ電子ビーム照射時間を10分の1に短縮できるという。

SCREEN、枚葉式洗浄装置を投入 200mmウエハー用を半額に (2020/6/29 機械・ロボット・航空機1)

装置内の搬送構造のシンプル化などで価格を抑えつつ、シリコンウエハーのほか、従来装置で最適化が困難だった多様な化合物ウエハーにも対応できるようにした。

研究グループはシリコンウエハー表面の厚さ400ナノメートル(ナノは10億分の1)の二酸化ケイ素層上に、200ナノメートル厚のシリコン板をつけた基板を利用。

同接着技術を利用し、ナイロン繊維1本で52・8グラムのシリコンウエハーを持ち上げられた。

東京エレク、マクロ検査装置 ウエハー表面欠陥を高速検出 (2020/6/17 電機・電子部品・情報・通信1)

超低ノイズマクロ光学センサーと専用照明により、透明の化合物半導体ウエハーから非透明なシリコンウエハーまで幅広いウエハー表面の微小変化を捉えることができる。

ルネサス、滋賀工場を閉鎖 従業員は配置転換 (2020/5/18 電機・電子部品・情報・通信)

LD・PD製品とは別にシリコンウエハーを用いた半導体の製造ラインも2021年3月末に停止する。

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