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プラズマ発生によって局所的に高温状態になり、金属のスパッタが起こりえる。

これらの技術をあわせ大面積成膜が可能な汎用スパッタ成膜法に適用し、20インチサイズの液晶テレビ用パネルで酸化亜鉛透明電極を使えるようにした。

ノズル交換装置や付着した溶融物(スパッタ)の自動除去装置を標準装備し、段取り時間を短縮できる。

電流の瞬間的最大値は不変のため、低加圧で溶接するとピーク電流時にスパッタ(火花状の現象)が発生するなど品質低下を招く。

薄膜作成技術には「ゾルゲル法」や「スパッタ法(スパッタリング法)」と呼ばれるものがあり、そのうちスパッタ法は機能性薄膜の作成に適しているとされる。 スパッタ法は真空中でプラズマ...

ワイヤ径、電流に応じた電圧やワイヤの送給速度を素早く最適化し、開始時のスパッタ飛散量を抑えた。

また電流や電圧によって異なる火の粉(スパッタ)の大きさを見ながら電圧や溶接スピードなどを変える。

同社の特許技術で、試料の合成比率や各部分の温度、膜圧の変化に一つの試料で対応できるコンビナトリアル法をスパッタ方式で行う。

しかし、50マイクロメートル以下の薄膜をつくるにはエネルギー密度が高すぎ、金属粉がはねて付着するスパッタなどの溶接欠陥が起こりやすかった。 ... エネルギー密度が低く溶接方向に長い楕円ビーム...

マイクロホール量産加工技術の革新=大阪製作所(大阪府八尾市)後藤良一、後藤昭、太田竜次、古村紫織、兵庫県立工業技術センター・安東隆志▽水素ロータリーエンジン車の開発=マ...

A 電流や電圧の波形を高精度に制御することで、スパッタ(溶けて飛び散る金属)を抑えられました。スパッタが多いと後処理が必要です。溶接品質を上げるには、スパッタの減少が大きなポイ...

【部品開発の母体】 半導体、光学、記録メディアなどは、多くが蒸着、スパッタ、CVDなど真空装置を用いて作成された薄膜技術部品で構成されている。... (3)ポンプの排気性能の把...

日立造船は09年度内に能勢事業所(大阪府能勢町)を閉鎖し、薄型テレビ・太陽電池向けの蒸着やスパッタなどの真空装置生産を築港工場(大阪市大正区)に移管する。

(長野県上田市、0268・39・7735) 【神港精機】 プラズマス化学気相成長(CVD)法とスパッタ法を複合化し、摺動(しゅうどう)特...

蒸着法、スパッタ法、CVD法などがあり、半導体回路素子を作製するために重要な技術。

設計技術者が製品を設計する際は、溶接時に発生するスパッタや疲労強度などの知識が欠かせない。

高周波電圧を使って真空中で製膜するRFスパッタ方式を用いて0・1マイクロメートル以下の薄型電池を形成した。

今回開発した透明導電フィルムは、スパッタ法など真空プロセスが必要なインジウム・スズ酸化物(ITO)フィルムに比べて生産面で有利な上、フレキシブル性に優れていることから透明フィルムヒータ...

山川洋幸九大産学連携センター客員教授(アルバック専務取締役)が「スパッタ装置とプロセスの進歩」と題して講演する。

スパッタ、真空蒸着、封止など半導体製造装置の技術を応用し、量産ラインを構築する。... スパッタのターゲット材や評価装置も合わせて提供し、フルターンキーでの事業化も視野に入れている。

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