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この単結晶基板上にp型硫化スズをスパッタリング法により成膜することで、pnホモ接合の硫化スズ太陽電池を実現した。 変換効率の向上に直結する開放電圧は、成膜条件を検討しない試作段階で3...

炊飯釜の金属表面に塗布する接着層とフッ素樹脂の組み合わせや成膜条件の最適化で、粘りの強い米飯でも自然と離れやすいようにした。

第63回十大新製品賞/本賞 安川電機 (2021/2/12 機械・航空機)

【半導体ウエハ搬送用クリーンロボット SEMISTAR−GEKKO MD124D】ギアレスで超低振動に 半導体ウエハー搬送ロボット「SEMISTAR−GEKKO...

さらにリン酸リチウムの固体電解質を成膜し、負極としてリチウムを蒸着させた。

今後数千万円をかけ、洗浄装置や成膜装置などを追加導入する。

ダイキン、韓国に新工場 半導体用エッチングガス生産 (2021/1/22 電機・電子部品・情報・通信)

このうち、前工程材料は、メモリーの高層化でエッチングガスや成膜材料などが伸び、同26・3%増の324億2000万ドル(約3兆3500億円)と予測している。

太陽電池に向けた大面積の成膜装置については、熱制御によるガラス基板の変形を伝熱解析と応力解析を組み合わせて解析する技術開発に取り組んでいる。

成膜装置やエッチング装置などの工程への波及効果を見込む。

拠点内にパイロットラインを構築し、さらなる微細化に必要な成膜・洗浄技術のほか、チップを積層する3次元(3D)パッケージ技術などの開発を順次始める。

スパッタ(成膜)装置で新材料を合成し、真空中で光学特性と電気特性、熱特性、半導体特性を順に計測する。

住友重機械工業の反応性プラズマ蒸着法を用いて、プラスとマイナス状態の酸素原子を同時に発生させ、プラスイオンは成膜に、マイナスイオンは酸化状態を操ることに使い分けることで、単一材料で電気的応用だけではな...

近年では、半導体分野で自動車メーカーと共同でマスク成膜システムを開発。

メイバックが持つ真空コーティングと薄膜成膜技術を活用して真空製品の付加価値を高め、半導体等製造装置メーカーへの提案の幅を広げる狙い。

徳田教授らはこれまでに、単結晶ダイヤモンドを用いた反転層チャネル金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ(MOSFET)の動作を実証している。... 今回、現在の半導体エレクトロニクスで主...

ジャパンクリエイト、エッチング装置強化 AMTIから事業買収 (2020/12/17 電機・電子部品・情報・通信1)

【川越】ジャパンクリエイト(埼玉県所沢市、上杉昌義社長、04・2938・3111)は、アドバンストマテリアルテクノロジーズ(AMTI、千葉県流山市)の成膜装置事業を買収...

堀場、半導体製造用真空計 高温域で安定計測 (2020/12/15 機械・ロボット・航空機1)

成膜やエッチング工程などで真空度を測る装置。

活況!半導体製造装置(1)東京エレクトロン社長・河合利樹氏 (2020/12/3 電機・電子部品・情報・通信1)

今後デジタル変革(DX)が進めば、テレメトリックスの幅はより広がっていくだろう」 ―岩手県、山梨県の新棟で、エッチング装置や成膜装置の生産が始まりました。 &...

TOWA、樹脂にセラ成膜 車部品向け技術開発 (2020/12/2 機械・航空機1)

【京都】TOWAは樹脂製品にセラミックスを成膜する技術を開発し、テストコーティングの受け付けを始めた。... スパッタリング法での低温成膜で高密着性を実現。... 将来は樹脂製品から成膜まで手がけるO...

有機デバイス、セラミック成膜で高耐久化 リコーが新技術 (2020/12/2 電機・電子部品・情報・通信2)

常温でのセラミック成膜が可能な「エアロゾルデポジション(AD)法」を改良したほか、セラミックスの成膜前に塗布する中間層材料を開発。新技術の活用により、OPC成膜で主流とされる「一般樹脂...

エア・ウォーター、GaN積層構造開発 低コスト、5G基地局用 (2020/11/27 電機・電子部品・情報・通信)

汎用的で塑性変形しにくいチョクラルスキーシリコン基板を下地にし、独自の成膜技術で炭化ケイ素(SiC)薄膜とGaNの厚膜を形成させる(写真)。

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