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【横浜】レーザーテックは大型フォトマスク基板の欠陥検査装置「LB79=写真」を発売した。第10世代液晶ガラス基板の大型フォトマスク向け。... フォトマスクのベースとなるガラス基板の欠陥を検査...
またフォトマスク用保護膜など材料系の製品で生産能力の増強と製品の拡販を進める。... 材料系では11月に第10世代の大型液晶ガラス基板に対応したフォトマスク用保護膜の新生産ラインを稼働させるほか、超極...
【横浜】ニューフレアテクノロジーは従来の3倍以上の速度でフォトマスクの回路パターン欠陥を検出する装置「NPI5000PLUS」を開発した。... 光線によるフォトマスクの欠陥検査では、波長の4分の1が...
【横浜】レーザーテックは今後実用化される第10世代(ガラス基板サイズ2850ミリ×3050ミリメートル)以降の液晶用フォトマスク欠陥検査装置「LI712=写真」を発売...
一方で、回路をウエハーに焼き付ける際に原版となるフォトマスクが不要になるため、チップ数が10万個以内の多品種少量生産ではコストを削減できる。
従来の加工法であるウェットエッチングのように、フォトマスクを使用する必要がないためコストが下がり、納期も2カ月短縮できるという。
【京都】日本電産リードはフォトマスク外観検査装置「マスクビュー=写真」シリーズ3機種を発売した。線幅3マイクロメートル(マイクロは100万分の1)の高精細フォトマスクに対応。....
【横浜】レーザーテックは、フォトマスクの位相差と透過率の測定装置「MPM193EX=写真」を発売した。... 設計を工夫し、ペリクル(防塵用保護膜)を付けたフォトマスクの測定も...