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シンフォニアテクノロジーは半導体製造に使用する「ロードポート」の新機種を約4年ぶりに開発し、2014年4月から量産する。... 12年夏からロードポートの生産を始めたタイ工場で全量生産する。... シ...

ローツェ、新型ドライバー搭載したウエハー搬送ロボなど発売（2012/12/11）

ロボットが140万円(従来機は250万円)、ウエハーを搬入出するロードポートが87万円(同200万円)。2013年から3年間でロボット2000台、ロードポート4000台...

TDKは3日、直径450ミリメートルの半導体ウエハーに対応した「ロードポート(入出力装置)=写真」を開発したと発表した。... 開発したロードポートは、開閉ドアを50%...

シンフォニア・テクノロジー、450ミリメートル対応開発に着手（2011/8/26）

現行の300ミリメートルウエハーと同様、複数のポートを並べて一台のローダーで制御できる構造にして低コスト化する。すでにMACのクリーン度を保ちながらフタを空けるロードポートでは450ミリメートル対応を...

台湾TSMCや韓国サムスン電子からの受注が急増し、直径300ミリメートルウエハーライン向けのロードポート(搬入出機器)や付随するローダーを増産している。... 競合のTDKもロードポー...

半導体装置各社、450ミリメートルの次世代ウエハーに対応（2009/7/10）

シンフォニアテクノロジーはウエハーを搬入出するロードポートと呼ばれる装置の450ミリメートル対応品のサンプル出荷を開始。... 来春をめどに次世代の低真空ウエハー搬送ロボットを完成、ロードポートとのモ...