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富士フ、24年にEUVレジストのシェア10%へ (2021/1/5 素材・医療・ヘルスケア)

生産拠点に、高精度の欠陥検査装置など品質評価設備を導入した。... 最先端の検査設備を導入することで、製品の品質向上や安定供給を目指す。... FFEMはEUVレジストの開発や生産に向け、今回の検査装...

列真(東京都品川区、張東勝社長、03・6451・4379)は、全自動のレーザー欠陥検査装置を開発した。従来の同社の卓上式レーザー欠陥検査装置にロボットアームを追加した。半導体用フォトマ...

【ワシントン=ロイター時事】米連邦航空局(FAA)は6日、ボーイングの中型旅客機「787」の一部で判明した製造上の欠陥について調査中であるものの、新たな検査が必要かどうかを判断...

ファイルいい話/レーザーテック 半導体マスク欠陥検査装置 (2020/7/16 電機・電子部品・情報・通信2)

今年度版「GNT100選」に レーザーテックは主力製品の半導体マスク欠陥検査装置で、経済産業省が特定分野で高いシェアや国際競争力を持つ企業を認定する2020年度版...

開発の舞台裏 中小企業優秀新技術・新製品賞(10)優秀賞 (2020/6/4 中小・ベンチャー・中小政策)

バイスリープロジェクツ 表面欠陥検査ユニット「SSMM―1R」 自動車の塗装工程や完成検査は目視による外観検査が一般的だ。検査員によって欠陥の検出精度にバラつきがあるほか、人...

中小企業優秀新技術・新製品賞 受賞38氏「喜びの声」 一般部門 (2020/4/30 中小企業優秀新技術・新製品賞)

当社の「表面欠陥検査装置 SSMM―1R」は、これまで目視で行われてきた自動車の塗装外観検査や自動車のエンブレムなどのメッキ製品の外観検査を自動化する画期的な製品です。... 製品は、車載部品...

第32回「中小企業優秀新技術・新製品賞」(1)一般部門 (2020/4/14 中小企業優秀新技術・新製品賞1)

従来と同程度に検査精度が高く、採取する血液も微量で、検査装置も小型で、クリニックでの小児向け検査で活用できる。 ... (東京都板橋区) ...

浜松ホトニクスは板状対象物(ワーク)の穴欠陥の最小検出面積を、同社従来比約4分の1に改良したピンホール検査ユニット(写真右)を発売した。直径1マイクロメートル(...

第62回十大新製品賞/日本力賞 レーザーテック (2020/2/20 電機・電子部品・情報・通信1)

レーザーテックは最先端の半導体加工技術である極端紫外線(EUV)露光用マスクパターンの欠陥を高感度に検出するEUV欠陥検査装置ACTIS「A150」を製品化した。 ....

展望2020/帝人社長・鈴木純氏 新中計、炭素繊維に投資 (2020/1/23 素材・医療・ヘルスケア)

工場での欠陥検査には既に人工知能(AI)を導入している。

2019年 第62回十大新製品賞 (2020/1/6 十大新製品賞)

【レーザーテック/アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置 ACTIS「A150」】 最先端の半導体加工技術である極端紫外線(EUV)露光用マ...

機械検査工 トヨタ自動車・野村忍氏 人材育成、基礎力に重点 トヨタ自動車の野村忍さん(写真左)は、入社40年を数えるエンジンの品質...

EUVでパターン欠陥検出 レーザーテック、マスク検査装置を製品化 (2019/10/16 電機・電子部品・情報・通信2)

【横浜】レーザーテックは、半導体加工技術の極端紫外線(EUV)露光用マスクパターンの欠陥を高い感度で検出するEUV欠陥検査装置「ACTIS A150=写真」を製品化した...

シリコンウエハーに電子ビームを照射して欠陥を検出する工程に目を付けた。... 実際、ウエハー欠陥検査は「トータル16時間ぐらいかかっている」(同)。... ウエハー欠陥検査以外の半導体...

【名古屋】フォトエレクトロンソウル(名古屋市千種区、鈴木孝征社長、052・789・5736)は、電子ビーム式のシリコンウエハー欠陥検査で、照射時間を従来比10分の1に短縮できる電子銃を...

半導体製造では欠陥検査が必須であるが、これほど小さくなると、もはや光では検査できず、光より波長の短い電子ビームが必須である。 ... 現在は民間企業との共同研究で半導体検査装置への搭...

技術サービス、きめ細かく/エンジニア育て顧客要望に即応 レーザーテックは、半導体マスク欠陥検査装置など主力製品の海外輸出に力を入れる。光応用技術を使った独自の検査・測定に強...

ソニーも搬送経路の見直しや自動搬送機の増設、深層学習を活用した欠陥検査、真空度や排気状況といったデータ解析による予兆管理など「スマートファクトリー実現に向けた取り組みを始めた」(慶児執行役員&...

経営ひと言/レーザーテック・岡林理社長「需要さまざま」 (2018/10/18 電機・電子部品・情報・通信2)

「ロジックデバイスを中心に半導体マスク欠陥検査装置の売り上げは好調」と自信を見せる。

第60回十大新製品賞/日本力(にっぽんぶらんど)賞−レーザーテック (2018/2/1 電機・電子部品・情報・通信2)

【EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置「ABICS E120」】 微細な半導体の回路パターン転写を可能にする極端紫外線(EUV)を使った次世...

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