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ダイセルは半導体の需要拡大や微細化の進展を受け、レジスト用ポリマーの生産・研究開発体制を強化する。... ダイセルのフッ化アルゴン(ArF)レジスト用ポリマー事業は05年頃に立ち上がり...

特殊アクリル酸エステルの一つとしてArF(フッ化アルゴン)レジスト用モノマーを展開し、引き合いは好調。... レジストは半導体の微細化を支えるキーテクノロジーだ。

住友化学、韓でフォトレジスト 需要増・BCP対応 (2021/9/1 素材・医療・ヘルスケア)

100%子会社の東友ファインケム益山工場に液浸フッ化アルゴン(ArF)レジストの製造プラントを建設し、2024年度上期に稼働する。

フッ化アルゴン(ArF)液浸露光向けに加え、半導体の微細化に伴って高まることが予想されるEUV露光向けの需要拡大に応える。 ... 新棟ではさらなる微細化を見込み、最...

基板に回路を作る際に塗布する金属の薄膜で微細化に欠かせない材料だ。... 微細化ではフォトレジスト向け光酸発生剤もキーテクノロジーの一つだ。... ArF(フッ化アルゴン)液浸露光向け...

半導体に回路パターンを焼き付ける露光工程向けの感光材「フォトレジスト」は、液浸フッ化アルゴン(ArF)露光などに対応する最先端製品の生産能力を19年度比2・25倍に引き上げる。... ...

中国では西安市と常州市に洗浄用薬品の高純度化を行う工場を持っており、その近隣に建屋を建設し、設備を増設する。... 半導体に回路パターンを焼き付ける露光工程向けの感光材「フォトレジスト」は、液浸フッ化...

【カギは感光材料】 半導体の高性能化に伴い、電子配線回路の微細化が進む。... JSRは液浸フッ化アルゴン(ArF)向けフォトレジストで世界シェアトップ、最先端の極端...

AGCがEUV用から新規参入したのは、EUV以前のフッ化アルゴン光源露光などとは段違いの性能や品質が求められるからだ。... これに対し、AGCはマスクブランクスのさらなる低欠点化や膜の高性能化で対応...

半導体回路の微細化に欠かせない「極端紫外線(EUV)露光」への期待感が高まっている。... これまでフッ化アルゴン(ArF)液浸など旧来型の露光向けでは使用されているも...

半導体装置、需要拡大続く 5G・IoT向けけん引 (2021/6/3 電機・電子部品・情報・通信2)

フッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置などの旧式機種の売り上げが当初想定より伸びているとみられる。

JSR、コア営業益600億円 新中計、半導体材料など強化 (2021/3/29 素材・医療・ヘルスケア)

石油化学系事業については事業構造改革を進める方針で、特にエラストマー事業に関してエリック・ジョンソン最高経営責任者(CEO)は「迅速な対応が必要だ」とし、「生産能力の最適化などを進めて...

同設備では、液浸フッ化アルゴン(ArF)や極端紫外線(EUV)プロセス向けレジストを生産する。

ただ今の主流はあくまでフッ化アルゴン(ArF)露光用。

富士フ、24年にEUVレジストのシェア10%へ (2021/1/5 素材・医療・ヘルスケア)

人工知能(AI)やIoT(モノのインターネット)、第5世代通信(5G)の普及で、半導体プロセスの微細化が進む。... 他社と差別化し、本格採用につなげる...

同社は計300億円を投資し、直江津工場(新潟県上越市)で主力のフッ化アルゴン(ArF)フォトレジストの生産能力を現状比1・3倍、台湾では多層レジスト材料の生産能力を同1...

ニュース拡大鏡/住化、5G関連素材の事業化を加速 (2020/10/26 素材・医療・ヘルスケア)

同技術で生産した半導体は小型化・高性能化でき、情報処理量の多い5G機器向けで需要が増えると期待される。 ... 現在、100層以上の半導体の中でEUV露光はわずか数層で、大半は液浸フ...

信越化、日台でフォトレジスト増産 先端半導体向け (2020/10/16 素材・医療・ヘルスケア)

直江津工場で製造するレジスト製品のうち、主力のフッ化アルゴン(ArF)フォトレジストの生産能力が現状比1・3倍、台湾では主力製品である多層レジスト材料の生産能力が同1・5倍となる。

住友化学、21年度に半導体材売上高1.5倍 EUVレジスト量産 (2020/2/27 素材・医療・ヘルスケア)

回路の微細化ニーズに対応して事業を拡大し、半導体材料を偏光板フィルムに次ぐ情報電子化学部門の柱に育てる。 大阪工場では、高機能な半導体の主要な製造プロセスとなっているフッ化アルゴン&...

大阪有機化学工業、半導体レジスト材拡充 金沢工場に新棟 (2019/10/30 素材・医療・ヘルスケア)

フッ化アルゴン(ArF)用や極端紫外線(EUV)用のレジスト材料を、半導体レジストメーカー向けに供給する。

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