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同社の超高真空蒸着装置に取り付けて使う。... 超高真空蒸着装置は真空を利用した実験装置で、真空状態を維持するために実験を行わない夜間や休日でも作動させる必要がある。... エコバルブシステムは超高真...

ピエゾパーツは、レンズなど光学部品のコーティングの厚みを真空蒸着装置内で測定するための水晶振動子「膜圧モニタークリスタル」の製造・販売を手がける。 ... 「製品の高付加価値化と新規分野の開拓...

真空蒸着装置などに使われる窒素やアルゴンなどを対象に、毎分0―5ミリリットルといった微小流量域の気体を調整する。

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