処理装置の台数を減らせるため、設備投資の低減につなげられる。用途や装置に合わせた専用機種を含めて3機種で構成。半導体や薄膜太陽電池セル(発電素子)、液晶セルの製造工程向けの「G6型」は...

同装置大手の大陽日酸は、競合品に比べ処理枚数最大のMOCVD装置を開発した。... 例えば、素子表面のハードマスクは気体状の物質を化学蒸着(CVD)して製膜するが、SCシリーズの塗布に...

【京都】サムコは今秋をめどに、インドに微小電気機械システム(MEMS)や半導体レーザー向け製造装置の研究開発拠点を開設する。... 大学教員らと連携して現地仕様の装置を開発し、市場投入...

表面波プラズマ化学気相成長(CVD)装置の技術を応用し、1日に通過する1平方メートル当たりの水蒸気を100万分の1グラムに抑えた。... 無機化合物のみを使い、装置1台で成膜するためコ...

東京エレクトロンはルテニウムCVD装置でウエハーに堆積(たいせき)しなかった装置内の残留物を独自の装置で回収し、田中貴金属が残留物を再精製する。

【名古屋】豊田工業大学は2010年度内に量産サイズの1辺156ミリメートルのシリコンウエハーに対応した結晶シリコン太陽電池の製造装置を整備する。従来の同76ミリメートルまでに対応する装置を更新するもの...

装置台数が少なく省スペースに設置でき、運営も簡単だという。... フッ素ガスは、薄膜型太陽電池でガラス基板にシリコンを付着させていくうちに汚れるCVD装置をクリーニングする時に用いる。

【京都】サムコは8月から米国・中国・台湾に相次いで発光ダイオード(LED)の加工装置やナノテク分野の研究開発向け装置の営業・サービス拠点を新設する。... 台湾市場ではLED向け化学気...

プラズマ熱処理技術とプラズマ化学気相成長(CVD)装置のノウハウなどを生かして開発した。... 大型処理装置(写真)や受託加工体制もアピールする。

【立川】ワイエイシイ(YAC)は変換効率に優れた薄膜シリコン太陽電池を開発する上で重要技術であるシリコン微結晶を成膜する化学気相成長(CVD)装置を開発し、受注を始めた...

同志社大学の千田二郎教授らは堀場製作所と共同で、次世代LSIに使う高誘電率の材料を作製する新しい「気化供給装置」を開発した。... 化学気相成長(CVD)装置などが採用する「加熱気化」...

東京エレクトロンは1日、電力消費量を平均40%以上削減した直径300ミリメートルウエハー用の化学気相成長(CVD)装置の新製品(写真)を開発したと発表した。CV...

三菱樹脂は2010年内に、化学気相成長(CVD)装置などに使われる耐熱ロボットハンド市場に本格参入する。... 液晶テレビに加え太陽電池向けにCVD装置の需要拡大が見込まれる中、同社は...

東京エレクトロンはエピタキシャル層に窒素を導入するドーピング均一性や膜圧均一性が最高水準の化学気相成長(CVD)装置を開発した。

太陽光発電パネル向けの製造装置は大きく伸びると見ている。... とくに今後需要が高まる太陽光発電パネル向け製造装置には重点投資する。... 「現時点で、レーザー加工装置や化学気相成長(CVD&...

CVD加工では1000度Cを超える炉で成膜後、焼き入れと焼き戻しを行う。 ... 同室にはCVD装置2基とPVD装置3基を設け、冷間プレス金型をメーンに、ダイカストやプラスチック用の金型にも手...

SiCウエハー上に結晶膜を堆積(たいせき)成長させる化学気相成長(CVD)装置。... シリコン向けCVD装置と部品を一部共通化し価格を抑えるほか、自動搬送機能などを備...

プラズマ化学気相成長(CVD)装置の開発に取り組むなど、太陽電池セル製造の主要工程を一貫提供する事業体制を構築し、2011年度の事業売上高を10年3月期見込み比約8倍の100億円に伸ば...

自社開発した化学気相成長(CVD)装置を使用する。... すでに偏光変換素子などを生産している中国工場(広東省中山市)にCVD装置を2―3台設置し、現地で加工する計画。...

目標達成に向けてはプラズマ化学気相成長(CVD)装置を開発し、太陽電池セル製造の主要工程を一貫提供する体制を整える。... 太陽光の吸収を高める反射防止膜を形成するプラズマCVD装置の...