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【厚木】メープル(神奈川県相模原市、金井勉社長、042・700・0310)は、半導体製造装置向けなどにガス流量制御装置「マスフローコントローラー メープルMFC」シリーズを9月...

半導体製造装置用ガス制御システムなど世界で実績を持つセレリティのマスフローコントローラー(MFC)をフジキンが日本市場で15日に発売する。

山武は気体の微小な流量を制御する「デジタルマスフローコントローラCMQ―Vシリーズ=写真」を発売した。

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