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記事検索結果
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露光装置は今後、台数が減る一方、1台の価格が高いため金額が増える」 ―付加価値の高いフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置の受注見通しについては。 ... 「2010年の...
ウエハー大口径化と回路微細化を同時に進めると、設備稼働率の向上が問われる。 ... 45ナノメートルプロセスの露光光源に採用したフッ化アルゴン(ArF)の波長は193ナノメート...
原料・ナフサ価格が急上昇し、この価格転嫁が遅れて石化事業の上期は営業減益となったが、多角化事業の半導体材料が予想以上に好調なこともあり、石化のマイナスを補えそうだ。... そう見て、事業を運営していく...