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凸版印刷は7日、半導体の製造などに用いるフォトリソグラフィ技術を使用して製造したガラス製マイクロ流路チップ(写真)の試作に成功したと発表した。... 液晶...
感光材料を利用しパターンを生成する「フォトリソグラフィ法」で幅100マイクロメートル(マイクロは100万分の1)の銅微細配線を形成する。
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凸版印刷は7日、半導体の製造などに用いるフォトリソグラフィ技術を使用して製造したガラス製マイクロ流路チップ(写真)の試作に成功したと発表した。... 液晶...
感光材料を利用しパターンを生成する「フォトリソグラフィ法」で幅100マイクロメートル(マイクロは100万分の1)の銅微細配線を形成する。
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