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ロウ付け用真空炉とヒートサイクル試験機の2台で、投資額は合計で約3000万円。... 真空ロウ付け炉はロウ付けの接合条件を探すのに用いる。... パワーデバイス用セラミックス回路基板や次世代ヒートシン...
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