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記事検索結果
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サイズは世界最大の703平方センチメートルを維持しながら新たな成膜法により現在主流の多結晶シリコン型と同等の変換効率を実現した。... 新たなペロブスカイト層の成膜法はインクと乾燥プロセス、装置を開発...
同工場は「成膜装置用マルチゾーン制御ステージヒータ」や「エッチング装置用溶射付冷却板」と呼ばれる、半導体製造装置に用いる部品を手がける。
曲面形状のある大面積の基材に大気圧下でも成膜できる。成膜したシリカ薄膜の耐摩耗性が自動車利用の基準値をクリアした。... 新機構は基材の厚さに関係なく、狙い通りに成膜できた。
【シェア50%超】 ADEKAは最先端半導体DRAMの成膜用途で使われる高誘電材料「アデカオルセラシリーズ」で世界シェア50%以上を持つ。
桐蔭横浜大学発のベンチャー、ペクセル・テクノロジーズ(横浜市青葉区)では、同太陽電池の作製のカギとなるペロブスカイト膜を自動で成膜する小型ロボットを開発した。
東北工業大学の下位法弘教授と東北大学の田中俊一郎名誉教授らは、樹脂フィルムに透明な酸化亜鉛導電膜を形成する技術を開発した。... そのため低温で成膜できると酸化亜鉛の用途が広がる。研究室では30センチ...
SBD生産プロセスの拡散装置など精度の高い装置の選定や金属成膜方法、シリコン材料の見直しを行い、性能を実現した。
同MEMSのPZT薄膜は一般に多結晶だが、住友精密はFOMを高められる単結晶で成膜する技術を築いた。... 3年かけ内製した専用の成膜装置により、製造の難しい単結晶を欠陥なく最適化した結晶構造で成膜で...
タンタルを2オングストローム(オングストロームは100億分の1メートル)と1原子分の厚さで成膜した。
成膜したペロブスカイト膜を使った太陽電池のエネルギー変換効率は15%以上を安定的に達成できる。... 遠隔制御による成膜の自動化にも対応した。 ... 電池の中核となるペロブ...
透明酸化物電極の膜内応力を緩和することで、電極の下の層との間にギャップができることを防ぐ。... 透明電極を成膜する時に非晶質化させて膜内応力を緩和させる。
【EUV向け増】 同社はルテニウムを用いた成膜材料「スパッタリングターゲット材」を、半導体ウエハー上に微細回路を形成する材料や、回路パターンを同ウエハーに焼き付ける原盤の母材「マスク...
同製品はガラス表面の銅含有膜が空気中の水分や酸素などと反応し、活性酸素類を発生させ、細菌やウイルスの増殖を抑制する仕組み。... 同製品のコーティング技術は溶液原料の化学反応により合成したゲル体を加熱...
【用途は多種多様】 高純度ガスの用途は半導体の成膜材料やエッチング工程、洗浄工程と多種多様だ。
セラミックの微粉末を吹き付けて成膜する「エアロゾルデポジション法」をボールネジなどの機構部品に応用した。セラミック膜に微小な穴が残らず、防錆性が大幅に向上する条件を見つけた。立体構造表面にも剥離のない...