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記事検索結果
37件中、2ページ目 21〜37件を表示しています。 (検索にかかった時間：0.006秒)
開発した「ファイン露光システム」は露光装置とプロセス技術、レジスト材料樹脂を組み合わせた。... またプロセス技術は露光時の面内のゆがみを最小化でき、レジストは線幅4マイクロメートル以下のブラックマト...
【JSR/新レジスト材−高精度電極形成可能に】JSRは発光ダイオード(LED)基板上に、従来以上に高精度な電極形成を可能にする新規レジスト材料を開発した。基板上に断面がT字状...
感光性フィルムはプリント配線板を製造する際に、銅張積層板の上に貼り付けて回路を形成するフィルム状のレジスト材料。
EUVL基盤開発センターや大阪大学などと共同で、極端紫外光(EUV)リソグラフィーに必要なマスク技術や、レジスト材料の露光性能の評価技術などを開発する。
ナノサイズ(ナノは10億分の1)の金属粒子と光反応性樹脂を配合した材料で、同材料に光を照射して直接パターニングできる。パターニング用レジスト材料が必要ないため、工程を削減できる。......
【大河内記念生産特賞】▽三菱電機(高密度ビルドアップ配線板加工用高速マイクロ穴あけレーザ加工機の開発と実用化) 【大河内記念技術賞】▽富士通セミコンダクター、富士通研究所...
記録材料として用いれば従来の100倍以上の省エネルギー化が期待できるほか、高感度の光センサーや電子回路に使われるレジスト材料などへの応用も見込める。
材料科学技術振興財団(増島勝理事長)は、第10回山崎貞一賞の受賞者に、原子間力を使い高速で動作する顕微鏡を開発した金沢大学の安藤敏夫教授ら4分野5人を選んだ。... 【材料分野】武知敏...
レジストメーカーは、他社に先駆け最適なレジスト材料を提案することで、少ないイスを奪い合う。 ... 競争力の高い周辺材料と組み合わせることでレジストのシェア拡大も狙える。... レジストをはじ...
フォトレジストメーカー各社は、需要が本格化する回路線幅(ハーフピッチ)45ナノメートル(ナノは10億分の1)世代以降のレジストや関連材料の開発を加速している。... 東...
【水戸】生体分子計測研究所(茨城県つくば市、岡田孝夫社長、029・839・4611)は24日、半導体先端テクノロジーズ(セリート、つくば市)と共同で、アルカリ現像液中の...
最先端のレジスト材料開発で大きく貢献したのがNECだ。... このレジスト材料で微細加工技術が進展し、最小回路寸法が90ナノメートル(90ナノメートル世代)のLSI量産化につながった。...
三菱ガス化学は9日、線幅22ナノメートル(ナノは10億分の1)以下の次々世代の半導体製造プロセスに対応したレジスト材料を開発、サンプル出荷を始めたと発表した。新製品は半導体の製造工程で...
【大河内記念生産特賞】▽超々臨界圧石炭火力発電を実現させたステンレスボイラーチューブの開発(住友金属工業) 【大河内記念技術賞】▽世界初有機ELテレビの開発と量産化(占...
【市村産業賞・功績賞】▽「SUS304代替Ni、Moフリー21%クロムステンレス鋼の開発」(JFEスチール)▽「最先端LSI製造用ArFレジスト材料の開発」(NEC&#...
【神戸】兵庫県立大学と赤穂化成(兵庫県赤穂市)は11日、大学発のベンチャー企業として半導体の回路パターン作成などに用いる新規レジスト材料の開発・製造を行う、イーユーブイアドバンストテク...
【南大阪】和歌山県工業技術センターは米ぬかから抽出したフェルラ酸を原料に新たな生分解性樹脂材料(ポリマー)を開発した。石油系材料に匹敵する耐熱性や強度を実現。... レジスト材料やエポ...
