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キヤノンアネルバ(川崎市麻生区、酒井純朗社長、044・980・5111)は、半導体製造で使う成膜装置向けの隔膜真空計「キャパシタンスゲージ=写真」の新製品を発売した。 ...
◇ キヤノンアネルバ(川崎市麻生区)は2016年初頭に発売する隔膜真空計の新製品を展示。隔膜真空計は半導体製造で使う成膜装置向けで、測定範囲が限られるが精度が高い。
大気圧SEMは試料を配置する大気圧空間と、真空空間のSEM内部を「隔膜」と呼ぶ機構で分離している。エアロサーフは試料と隔膜が接触しない設計を採用し、複数回にわたり隔膜を使えるようにした。 &#...
同社にとって初の半導体成膜装置向け隔膜真空計。... 既存製品を含む隔膜真空計全体で2015年に3000台の販売を目指す。 ... 半導体成膜装置向けに参入し、隔膜真空計事業を伸ばす...
【キヤノンアネルバ/隔膜真空計の新製品をPR】 キヤノンアネルバ(川崎市麻生区、044・980・5111)は、自社の真空技術関連製品をフルラインアップで展示...
キヤノンアネルバ(川崎市麻生区、酒井純朗社長、044・980・5111)は、半導体製造で使う成膜装置向けの隔膜真空計事業に参入する。... 隔膜真空計市場のうち成膜装置向けは全体の約半...
【キヤノンアネルバ/ゼロ点ズレ減少隔膜真空計】 キヤノンアネルバ(川崎市麻生区)は隔膜真空計や小型ガス分析システムなどを出展する。隔膜真空計「キャパシタンス...
9月にピエゾ型隔膜真空計「TRD-10=写真」ほか3種類を発売し、工業分野で用いる真空領域のほぼ全てを計れるようになった。
【千葉】大亜真空(千葉県八千代市、横山徹社長、047・459・5311)は、真空計『TRシリーズ』に、コールドカソード真空計「TRC―10=写真」、熱陰極電離真空計「TRI―1...
隔膜の材料劣化などのさまざまな課題をクリアして実用化にこぎ着けた。 ... 電極や隔膜などの材料の品質が向上し、以前とは比べものにならないほど技術レベルが上がっている」と強調する。
【宇都宮】栃木県はニッチな分野で世界一の技術の研究開発を支援する「世界一を目指す研究開発助成事業」で、バンテック(那須塩原市)の「アルカリ水電解装置における高効率化のための不織布隔膜開...
スムーズフローはダイヤフラム(隔膜)式で、回転式ポンプのようなしゅう動部や噛込み部分がなく、流体内の粒子を痛めることがない。通常のダイヤフラムポンプは吐出の脈動があるが、二つの隔膜が脈...
