最近は企業からより細かい結合状態の分析や光を使ったリソグラフィー(露光)技術などへの需要が増えており、それらの分析が可能なBL3、BL9、BL11などの産業利用を検討する。 &...

半導体の微細加工などに使うリソグラフィー(露光装置)や超高精度な赤外近接場光学顕微鏡などを設置する。

東レの感光性導電ペーストは微細化に適したフォトリソグラフィーで配線を形成できるため、受注が年率で倍増ペースで増加している。

露光で回路パターンを形成するフォトリソグラフィー工程の後、加熱して硬化収縮させる。 ... 従来のスクリーン印刷方式では配線の微細化が難しいことから、蒸着やフォトリソグラフィー方式へ...

エーエスエムエル・ジャパンのリソグラフィーシミュレーターと、半導体理工学研究センターのTCADシステムをつないで製造から製品化までを一貫でシミュレーションできるようにした。

東芝は半導体製造のリソグラフィー工程で、薬液の使用量を従来比26%削減した。... 洗浄用の薬液はリソグラフィー工程で使用後、廃液の純度や成分別にタンクに集約する。

それがナノインプリントリソグラフィー。

ネガ型レジストは半導体製造におけるArFエキシマレーザーを光源にした液浸リソグラフィーに使われる。

スクリーン印刷はフォトリソグラフィー法に比べ最小線幅や精度に劣ると言われてきたが、技術革新が壁を打ち破ろうとしている。

こうした工程に必要な日立化成工業の半導体用研磨材料に加え、JSRや信越化学工業が高いシェアを持つリソグラフィー関連材料の受注が伸びている。

電子材料部門で主力の半導体リソグラフィー向け反射防止用コーティング材、液晶ディスプレー向け配向膜材料といった開発を強化する。

放射光施設「ニュースバル」の主要利用テーマである極端紫外光リソグラフィー関連研究、放射光産業用分析利用、放射光によるナノ・マイクロ加工研究、レーザー・コンプトン散乱ガンマ線の利用の成果などを木下博雄教...

新システムは半導体で使われるリソグラフィー技術を使い、8センチメートル角のガラスに1万個の孔を形成。

これまでCMOSなどの電子回路は、フォトリソグラフィーや蒸着法などで作製するのが一般的。

次いでフォトレジスト材とパターン露光を使ったフォトリソグラフィーにより不要な部分を除去し、短冊状や星型など任意のグラフェンのパターンを基板上に残す。

すでにアイルランド・ダブリン大学にリソグラフィー光源の研究用途としてサンプルを提供した。 結晶サイズが3インチにできると、研究用だけでなく、EUVリソグラフィー向けなど商業化につなが...

これまで利用されていたナノインプリントやリソグラフィーといった高価な方法を使わないため、製造コストの削減が見込める。

同社のループはポリイミドを用い半導体作製に使われるリソグラフィー(露光)で作製するため寸法精度が高い。

半導体ドライエッチング技術は半導体デバイスの微細化・高集積化を実現する手段としてリソグラフィー技術と双璧をなすキーテクノロジー。従事するエンジニアの数もリソグラフィーの分野と同じぐらい多いという。&#...

とりわけ、真空成膜技術やフォトリソグラフィーを印刷技術の原理で置き換える「プリンテッドエレクトロニクス」は、省資源・省エネルギーのデバイス製造を実現すると期待されている。