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関東電化工業、中国に新工場 100億円投資、半導体ガス現地生産 （2023/6/21 総合１）
半導体用配線材料ガスの六フッ化タングステン(WF6)や、半導体・フラットパネルディスプレー製造用エッチング・クリーニングガスの四フッ化炭素(CF4)、半導体製造用エッチ...
関電化、半導体ガス増産 国内外で400億円投資 （2023/6/8 総合１）
需要急増に備え 関東電化工業は半導体製造用エッチングガスを増産する。... C4F6はシリコンウエハーの表面に回路パターンを形成するエッチング加工の際に使われる特殊ガス。... 顧客...
