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記事検索結果
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次いでフォトレジスト材とパターン露光を使ったフォトリソグラフィーにより不要な部分を除去し、短冊状や星型など任意のグラフェンのパターンを基板上に残す。
東京応化工業は16日、韓国サムスン物産(ソウル市)と韓国・仁川市にフォトレジストを製造販売する合弁会社「TOK尖端材料」(岩崎光文代表理事=東京応化工業専務)を...
「主力製品の半導体用フォトレジスト(感光性樹脂)事業は、12年度も比較的順調に推移している。... MEK事業に半導体フォトレジスト原料など機能化学品を加えた売上高と、エチレンなど基礎...
以降、フォトレジストや半導体関連材料などの生産販売も立ち上げるなど、同国の経済発展と雇用創出に寄与した点が評価された。
フォトレジストなど複数の薄膜を表面に積層し、格子状のマスクを通して光を当てた後、化学薬品によるエッチングで不要な部分を除去、円すいパターンを作る。
デイケム社は半導体やディスプレー分野で使用されるフォトレジスト向けモノマーやポリマー、光酸発生剤などの機能材料を扱っている。
光源に複数波長の光を照射できる紫外線発光ダイオード(LED)を採用、使用する感光材(フォトレジスト)に適した光で精密な露光を可能にした。... (075・417...
しかし、保護膜層であるフォトレジストの塗布、感光、エッチング、フォトレジスト除去といった多段階にわたる工程が煩雑であるなどの問題点を抱えている。
業界で初めて光源に複数波長の光を照射できる紫外線発光ダイオード(LED)を採用し、使用する感光材(フォトレジスト)に適した光で精密な露光を可能にした。... 汎用のフォ...
JSRは20日、米国半導体製造技術組合のSEMATECHと共同で、化学増幅型の感光性材料(フォトレジスト)を使って極端紫外線(EUV)露光し、線幅15ナノメートル...
光や電子線によって物性が変化する材料で半導体などに用いられるフォトレジストを、フェムト秒レーザーで露光することにより毛細血管の3次元構造を再現した。... クロムメッキしたガラス基板上にフォトレジスト...
リサイクルできるフォトレジストや、新たな粘着剤として応用できる可能性がある。 ... エレクトロニクス分野の微細加工で用いられるフォトレジストなど産業界で幅広く利用されているが、一度...
パターン形成の仕組みは、ArF光源対応のフォトレジストでガイドパターンを形成した後、パターン間に自己組織化材料を塗布する。
JSRは24日、次世代の極紫外光(EUV)を使った半導体露光技術に対応したエッチング用フォトレジストで良好な加工性を確認したと発表した。
