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信越化学の4―6月期、経常益72%減（2009/7/31）

電子産業用希土類磁石やフォトレジスト製品などそのほかの電子材料の出荷は回復基調となった。

シンク・ラボラトリー、出力解像度4倍のレーザー製版装置を開発（2009/7/28）

製版はネガ型のフォトレジスト方式で行う。

JSR、半導体製造工程を簡略化できるフォトレジスト開発（2009/6/30）

JSRは29日、次世代半導体製造プロセスであるダブルパターニング向けに、1回目に形成したパターンを保護する工程を簡略化できるフォトレジストを開発したと発表した。熱硬化させると2回目のフォトレジストに溶...

ニュース逆引き辞典/半導体製造用レジスト材料−微細加工・量産化に対応（2009/4/8）

シリコン基板に回路パターンを転写する際、感光性材料であるフォトレジストを使う。

三菱ガス化学、線幅22ナノに対応のレジスト材を開発（2009/3/10）

新製品は半導体の製造工程で使うフォトレジストの材料で、従来主流の高分子系材料に比べ分子量が10分の1と少なく、配線パターンの乱れも抑制できるのが特徴。... 高解像度、高感度、低配線乱れとフォトレジス...

JSR、半導体材料分野でIBMとの共同開発領域を拡大（2009/2/24）

これまでは線幅32ナノメートルから22ナノメートル(ナノは10億分の1)のフォトレジストの開発が中心だったが、今後はフォトレジスト以外の層間絶縁膜や低誘電率材料と呼ばれる半導体材料まで...

JSR、社長に小柴専務（2009/2/3）

吉田社長は01年6月の就任以来、半導体用フォトレジストなど情報電子材料に注力し、合成ゴムなど石油化学系企業から電子材料系企業への転換を図った。

テクノ学び隊(144)きょうのテーマ−EUV露光技術（2009/1/15）

まずフォトレジスト(光硬化性樹脂)が課題。

レーザーテック、ウエハー検査装置発売−微細な欠陥認識（2008/11/20）

ウエハーに回路パターンを焼き付けるための感光剤であるフォトレジストの塗布、その後の露光や現像工程で使う。

JSR、フォトレジスト値上げ（2008/11/13）

JSRは半導体製造向けg線・i線フォトレジストを12月1日に値上げする。フォトレジストの値上げは初めて。

太洋工業、3次元積層構造体を作成できる加工技術開発（2008/9/8）

エレクトロフォーミング加工は、導電性を持つ基板に感光性フォトレジストでパターニング、金属メッキし微細な精密部品を作成する。

トクヤマ、来月からフォトレジスト現像液上げ（2008/9/3）

トクヤマは半導体製造などに使うフォトレジスト現像液を10月1日出荷分から約10%値上げする。

佐藤ライト工業、AZの耐熱樹脂事業を買収（2008/7/9）

今回の買収は、半導体や液晶ディスプレー製造用フォトレジストなどの化学品事業に資本を集中したいAZ社と、半導体製造向けに静電気帯電防止(ESD)特性を発揮するPBI樹脂製の加工用母材を開...

出光、半導体フォトレジスト用原料3種投入−45ナノプロセス対応（2008/6/19）

出光興産は18日、次世代プロセスの半導体フォトレジスト向け原料として、アダマンタン誘導体3グレードを市場投入したと発表した。... 本格量産は2010年度からで、2015年度には同プロセスを中心にフォ...

装置が支える半導体・液晶(5)露光2回「凍結法」で解決（2008/6/16）

技術課題の解決策の一つとして考えられているのが、ウエハー上に塗布するフォトレジストを凍結する「レジストフリーズ」法だ。

出光興産、ナノテク棟が完成−電子材料の研究開発強化（2008/6/4）

同社では薄型ディスプレー(FPD)向けの最先端機能性材料や次世代半導体製造用フォトレジスト材料の研究開発を進める。

エーシングテクノロジーズ、機能性薄膜を1日で加工する技術開発（2008/5/28）

困難とされた3次元形状へのフォトレジスト加工により、デバイスの小型化に有効な貫通電極を安価で形成できる。

化学5社の電子材料部門、09年3月期見通し−4社が営業減益（2008/5/26）

JSRは「(フォトレジストなど)半導体材料の出荷は前年度比12―13%伸びる」(春木二生常務)というものの、税制改正の影響や07年度に実施した設備投資の償却負担...

三明、半導体製造装置向けテスト加工・評価環境を整備（2008/1/31）

新たにクリーンルームを設け、テスト加工用として光ナノインプリント技術による回路パターン転写装置や、スプレータイプのフォトレジスト塗布装置、露光装置の3機種を設置。

長瀬産業など、廃現像液でリサイクル会社を設立（2008/1/30）

フォトレジスト原液事業で世界最大手である米セイケム(テキサス州)が開発し、使用済み現像液などからTMAHを高効率で回収する技術「メビウスシステム」を活用する。

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