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フジキン、半導体製造装置向け可変式バルブを開発（2010/5/20）

付着ゴミ(パーティクル)の舞い上がりを防止。

BELLMATIC、パーティクルを風圧で取り除く装置開発（2010/5/13）

【立川】BELLMATIC(東京都瑞穂町、古木忍社長、042・556・1111)は、樹脂フィルムや金属箔などシート状の基材に付着したゴミ(パーティクル)を風圧で取り除く...

昭和真空、光学薄膜用蒸着装置を発売−膜厚制御系で精度10倍（2010/1/13）

従来機に比べて蒸着過程におけるパーティクルを抑制するプロセスを開発。

住友林業は29日、インドネシアの関連会社が製造するパーティクルボード(PB)について、原料調達から廃棄・リサイクルまでに排出される二酸化炭素(CO2)を表示するカーボン...

ターゲット材・各社の戦略(下)磁性材やメモリーに商機（2009/6/25）

「垂直磁気記録方式の磁性材向けターゲット材でも、ちり(パーティクル)の軽減が重要テーマ」と日鉱金属の沢村一郎執行役員は話す。... 酸化物は磁気を安定させる役割を持つ一方、酸化物を用い...

ターゲット材・各社の戦略(中)液晶第10世代向け競う（2009/6/24）

だが、パーティクルと呼ばれるチリやゴミが発生しやすく、全体の品質に影響を及ぼすのが課題だ。日鉱金属は「要求が最も厳しい」(沢村執行役員)と言われる半導体向けターゲット材の生産で、パーテ...

第26回優秀経営者顕彰/受賞20氏の横顔と「喜びの言葉」(2) （2008/12/18）

シリコンウエハーメーカーに提供する製品は、直径300ミリメートルのウエハー表面に45ナノメートル以上のゴミ(パーティクル)をゼロまたは1個のレベルで除去する性能を持つ。

2008洗浄総合展・出展企業紙上プレビュー(12)カイジョーほか（2008/9/24）

光学部品などに使うパーティクル(微粒子)洗浄、金属部品向け脱脂洗浄、プリント基板向けフラックス(ハンダ付け融剤)洗浄の3用途に的を絞り、アピールする。

勝つ/エバテック(2)ラインエンジにシフト（2008/5/14）

「パーティクル基準が他の工程と異なり、もっとも難しい」(井野)が、それだけ付加価値が高い分野でもある。

川商エレクトロニクス、米社製表面汚染粒子測定器を販売（2008/1/7）

同測定器「サーフェス・パーティクル・ディテクタQIII+」の価格は620万円。