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記事検索結果
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フッ化アルゴン(ArF)光源に比べ量産中の半導体への影響は小さいが、最も高価な微細品を対象とした意味でインパクトはある。 ... 半導体用フッ化水素酸などを主力とする...
これまでの半導体の微細化に伴い、すでに溶剤の純度は極めて高い水準。... 今EUV技術に期待が集まるのは、超高速通信の第5世代通信(5G)の実用化に伴い、半導体の微細化ニーズは一層高ま...
先端材料に加え、フッ化アルゴン(ArF)やフッ化クリプトン(KrF)フォトレジスト、3次元(3D)NAND型フラッシュメモリー向け製品など汎用品も期待で...
回路の微細化や多層化で、日本勢の強みである高品質材料のニーズが拡大している。 ... フッ化アルゴン(ArF)液浸と厚膜フッ化クリプトン(...
特に高機能・低コスト化の要求が強い、最先端半導体で使うフッ化アルゴン(ArF)用レジストは、同工場のみが手がける戦略製品だ。 ... ただ「少ないコストで可能なものは...
「フッ化アルゴン(ArF)に取って代われるのはまだ先」と見通すのは、JSR上席執行役員の杉本健さん。
まずは従来のフッ化アルゴン(ArF)露光装置では難しい、最先端の中でも限られた領域に訴求していく」 ―米インプリアへの出資で、EUV向け金属含有レジストの開発も進みそ...
半導体材料は微細化に向けた品質要求が高度化。... 半導体プロセス微細化、高品質追求 日産化学工業は22年をめどに、回路形成に使う反射防止コーティング材の生産能力を引き上げる。......
複数回の露光を繰り返して微細回路を形成するArF(フッ化アルゴン)液浸露光装置に比べ、コストを64%削減できるという。
富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズの静岡工場(静岡県吉田町)に、フッ化アルゴン(ArF)用レジストの調合タンクやフィルターを含む充填設備を新設する。... 半導体...
半導体の微細化とともに、半導体フォトレジストの市場拡大が見込まれている。... 現在量産レベル最先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置は波長193ナノメートル(ナノは10億...
今後、高精細化や大型化が進めば優位になる。 ... 事業をスリム化し、最先端の液浸タイプのフッ化アルゴン(ArF)露光装置開発を大幅に縮小する。 現...
「ニーズが多様化して、最大公約数を掴(つか)むのが難しくなっている。... 微細加工技術の領域で新たな事業の軸を作りたい」 【記者の目/ナノインプリントに焦...
ここ数年はスマートフォンの大画面・薄型化や高精細カメラの搭載といった波に乗り、主力のフォトレジストやCMPスラリー(研磨材)は年率20―30%で伸長。... フッ化アルゴン&#...
半導体製造装置事業では最大手の蘭ASMLへの対抗は難しいと判断し、最先端の液浸タイプのフッ化アルゴン(ArF)露光装置開発を大幅に縮小する。配置転換を含め同事業で1000人規模の適正化...
先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸装置の開発につまずき苦戦してきたが、ここに来て同社が得意とするi線(波長365ナノメートル〈ナノは10億分の1〉)、フッ化クリプトン&...
モノのインターネット(IoT)の普及を背景に同社が手がける光源がi線、フッ化クリプトン(KrF)の両装置需要は堅調とみて約5年ぶりの大型投資に踏み切る。... キヤノン...
既存のフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置で2回必要になる処理が1回で済む。... また転写精度が高く回路線幅の微細化を進めやすいメリットもある。一方、回路パターンの一部が壊れる欠陥な...
キヤノンは先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置の開発につまずき、オランダのASML、ニコンとの競争にさえ加われない状況が続いた。... 装置価格が割安なことに加え、転写精度が高く...
最先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸フォトリソグラフィーを使い、プロセスを工夫するなどして、30センチメートルシリコンウエハーの全面に光ナノ共振器を高い精度で作製した。 ...
