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記事検索結果
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「フッ化アルゴン(ArF)に取って代われるのはまだ先」と見通すのは、JSR上席執行役員の杉本健さん。... ArF露光装置の年産200台と比べると需要差は大きそうだが「当面は並行して使...
まずは従来のフッ化アルゴン(ArF)露光装置では難しい、最先端の中でも限られた領域に訴求していく」 ―米インプリアへの出資で、EUV向け金属含有レジストの開発も進みそ...
富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズの静岡工場(静岡県吉田町)に、フッ化アルゴン(ArF)用レジストの調合タンクやフィルターを含む充填設備を新設。
それでいて、対話と協力を通じアジア太平洋地域の安全保障環境の向上を目指すASEAN地域フォーラム(ARF)といった多国間協力枠組みで中心的な役割を担う「中心性」戦略を掲げ、交渉力を発揮...
複数回の露光を繰り返して微細回路を形成するArF(フッ化アルゴン)液浸露光装置に比べ、コストを64%削減できるという。
富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズの静岡工場(静岡県吉田町)に、フッ化アルゴン(ArF)用レジストの調合タンクやフィルターを含む充填設備を新設する。... 富士フ...
現在量産レベル最先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置は波長193ナノメートル(ナノは10億分の1)のレーザー光を発することができるが、波長の制限により微細化の限界...
事業をスリム化し、最先端の液浸タイプのフッ化アルゴン(ArF)露光装置開発を大幅に縮小する。 ... KrFやi線、乾式のArFといった装置も扱い、カスタマイズの実績...
微細加工技術の領域で新たな事業の軸を作りたい」 【記者の目/ナノインプリントに焦点】 早い段階で先端露光技術の一つであるフッ化アルゴン(ArF&#...
フッ化アルゴン(ArF)液浸装置に向けたフォトレジストや周辺材料の開発と検査・評価を支える。
半導体製造装置事業では最大手の蘭ASMLへの対抗は難しいと判断し、最先端の液浸タイプのフッ化アルゴン(ArF)露光装置開発を大幅に縮小する。
同iPS細胞を解析した結果、がん抑制遺伝子「ARF」が活性化している一方で、がん遺伝子「ERAS」の機能が失われており、腫瘍形成に至らないことが分かった。 ......
先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸装置の開発につまずき苦戦してきたが、ここに来て同社が得意とするi線(波長365ナノメートル〈ナノは10億分の1〉)、フッ化クリプトン&...
キヤノンは先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸装置の開発が順調にいかず、露光装置業界でオランダのASML、ニコンの後塵(こうじん)を拝してきた。
既存のフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置で2回必要になる処理が1回で済む。装置価格もArF液浸よりも大幅に安いため、東芝は製造コストを大幅に低減できるとみる。
キヤノンは先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置の開発につまずき、オランダのASML、ニコンとの競争にさえ加われない状況が続いた。... 先端のArF液浸装置はASMLが8割以上の...
最先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸フォトリソグラフィーを使い、プロセスを工夫するなどして、30センチメートルシリコンウエハーの全面に光ナノ共振器を高い精度で作製した。 ...
フィールド評価では、発信波長KrFレーザー向けで開始し、次に同ArFレーザーにも適用していく計画。
