[ 機械 ]

2017真空展・紙上プレビュー(上)荏原ほか

(2017/8/28 05:00)

真空技術を紹介する「VACUUM2017 真空展」(日本真空工業会、日本真空学会主催、日刊工業新聞社共催)が9月6―8日にパシフィコ横浜(横浜市西区)で開かれる。今回は「見えない力で魅せる真空。」をテーマに、78社・団体が出展する。主な出展者の注目製品・技術を紹介する。

(3回掲載)

【荏原/空冷方式を採用設置しやすく】

荏原は半導体産業向けの精密製造技術を生かして開発した空冷式ドライ真空ポンプ(写真)を紹介する。従来のドライ真空ポンプは水冷が一般的で設置環境に制限があったが、ファンによる空冷方式を採用し、電源さえあればどこでも使用できるようにした。小型軽量設計のため持ち運びも容易で、研究利用にも適している。

【佐藤真空/コンパクトで大きな駆動力】

佐藤真空(埼玉県三芳町、049・258・1116)は真空ポンプ、真空計測器をはじめ、真空乾燥機や真空ベーキングなどの真空装置を豊富にそろえる真空メーカー。今回はコンパクトで大きな駆動力が得られる直結型油回転真空ポンプ(写真)、ベルト駆動型油回転真空ポンプなどを出展する。

【芝浦メカトロニクス/最大2種類の積層成膜が可能】

芝浦メカトロニクスは高速枚葉式スパッタリング装置BMシリーズ(写真)を出展する。最大2種類の積層成膜が可能なほか、立体物側面膜付着量向上で、ランプリフレクターの反射膜、保護膜、ミリ波レーダー用電波透過膜の成膜にも対応できる。搬送系にピック&プレイス機構を採用し、自動化ラインとの接続が容易な構造とした。

【オリオン機械/低騒音を実現進化形提案】

オリオン機械(長野県須坂市、026・245・1230)はオイルフリー真空ポンプ(写真)を出展する。電子制御などで省エネルギー、低騒音を実現する進化形を提案。オイルフリー真空ポンプの液体吸引による故障リスクを解決する真空回路用自動液体分離・排出装置を発表する。実際に液体を大量に吸引させ、前段で排除する実機デモを行う。

【島津製作所/小型高圧縮比タイプなど出展】

島津製作所は半導体、フラット・パネル・ディスプレー(FPD)、タッチパネルなどの製造に不可欠なターボ分子ポンプの小型高圧縮比タイプや電源一体タイプ(写真)などを出展する。このほかにも、漏れ検査機能やヘリウム供給回収機能を標準搭載し、車載空調向け部品検査に適したヘリウムリークテスト装置などの新製品を紹介する。

(2017/8/28 05:00)

機械・ロボット・航空機2のニュース一覧

おすすめコンテンツ

すぐ身につく分析化学・機器分析の実務
基礎、前処理、手法選択、記録作成を現場目線で解説

すぐ身につく分析化学・機器分析の実務 基礎、前処理、手法選択、記録作成を現場目線で解説

今日からモノ知りシリーズ 
トコトンやさしい地盤工学の本

今日からモノ知りシリーズ トコトンやさしい地盤工学の本

図解よくわかるスマート農業
デジタル化が実現する儲かる農業

図解よくわかるスマート農業 デジタル化が実現する儲かる農業

岐路に立つ日本医療
破綻か飛躍か!?激変する世界が迫る選択

岐路に立つ日本医療 破綻か飛躍か!?激変する世界が迫る選択

おもしろサイエンス 
火山の科学

おもしろサイエンス 火山の科学

新版 
イチから知る!IR実務

新版 イチから知る!IR実務

Journagram→ Journagramとは

PR

電子版クレジットカード決済が対象になりました。キャッシュレスでお支払いのお客様に5%還元 ご存知ですか?記事のご利用について

カレンダーから探す

閲覧ランキング
  • 今日
  • 今週

ソーシャルメディア

日刊工業新聞社トピックス

セミナースケジュール

イベントスケジュール

もっと見る

PR

おすすめの本・雑誌・DVD

ニュースイッチ

企業リリース Powered by PR TIMES

大規模自然災害時の臨時ID発行はこちら

日刊工業新聞社関連サイト・サービス

マイクリップ機能は会員限定サービスです。

有料購読会員は最大300件、無料登録会員は最大30件の記事を保存することができます。

会員登録/ログイン

このサイトでは、アクセス状況の把握や広告配信などのためにクッキー(Cookie)を使用してしています。このバナーを閉じるか閲覧を継続した場合、クッキーの使用に同意したこととさせていただきます。なお、クッキーの設定や使用の詳細についてはプライバシーポリシーページをご覧ください。

閉じる