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個別制御する4本のボールネジそれぞれに、最小分解能0・05マイクロメートル(マイクロは100万分の1)のリニアスケールを用いて、スライド位置決めのためのフィードバック制御を高精度化。&...
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個別制御する4本のボールネジそれぞれに、最小分解能0・05マイクロメートル(マイクロは100万分の1)のリニアスケールを用いて、スライド位置決めのためのフィードバック制御を高精度化。&...
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