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金属加工品の脱脂・洗浄や電子部品の洗浄、フラックス洗浄、パーティクルの除去などに活用できる。

オリエント技研、極微細片に対応した温水引き上げ乾燥装置 (2017/6/29 モノづくり基盤・成長企業)

【立川】オリエント技研(東京都八王子市、後藤康彦社長、042・651・2012)は、0・3マイクロ―5・0マイクロメートルの極微細パーティクルに対応した温水引き上げ...

有機および無機層を重ねて封止膜を形成しているが、これではパーティクル、厚み、柔軟性、生産性、コストなどの問題が生じてしまう。

パーティクル発生機構の解明と日本タングステンのプラズマ耐性材料開発とが融合して課題を解決できた。

凝集体の大きさが100ナノメートル(ナノは10億分の1)から10マイクロメートル(マイクロは100万分の1)までの領域をサブ・ビジブル・パーティクル(SVP&#...

搬送ロボットも高精度な動きに加え、稼働時にパーティクル(粒子)を出さない工夫が要る。

ダイヘンはパーティクル(粒子)の発生を極力抑える必要があり、付加価値が高い真空環境下の搬送ロボットに特化している。

バッチ式蒸着機OTFCシリーズ(写真)のほか、ロードロック式スパッタ成膜装置、インライン式防汚膜成膜装置、反応プラズマ成膜装置、光学膜厚計システム、RFイオンソース、低パーティクル対策...

これによりパーティクル(異物)混入を防ぐ能力を大幅に高めたのが特徴。

島津製作所が取り組むのは、効果的な解析方法が確立されていないサブ・ビジブル・パーティクル(SVP)と呼ばれる1マイクロメートル(マイクロは100万分の1)前後の凝集体の...

スリッターやシートカッターでは、刃物や搬送装置である巻き取り装置を適正化しホコリ(パーティクル)の発生が少なく、高精度の切断が行える。

微細ゴミ(パーティクル)の発生要因となるロボットや真空乾燥部でのチャンバー開閉といった機構部がない。

これらの組み合わせで電力量やパーティクル量のほか、生産現場の多様な環境情報を無線で効率よく収集できる。

シリコンウエハーに集積回路パターンを転写する際、原板となるマスクにつくちり(パーティクル)もその一つ。パーティクルの除去には超純水や薬品による複数回の洗浄が必要で、除去しても再付着する...

いずれもパーティクル(粒子)低減や処理能力を向上できる。

吸音材の不織布とグラスウールをフッ素樹脂シートで包み込んでパーティクル(微粒子)発生を抑え、クリーンルーム向けとした。

新開発した小口径(8ミリメートル)の金属ダイレクトダイヤフラム(仕切り板)を採用し、開閉時のパーティクル(微細ゴミ)発生をなくした。

パネル搬送系の振動が伝わって起こるコンタクト不良やパーティクルが検査空間に浸入することを防いで検査効率を向上させた。

例えば音の出る押し出し式ボールペンを使えばパーティクル(微粒子)が発生するため使用を禁じるといった、社会人としての道理をわきまえた行動を促す。

半導体分野では配管の内面を磨くことで付着ゴミ(パーティクル)の発生を減らせる。

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