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記事検索結果
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【立川】オリエント技研(東京都八王子市、後藤康彦社長、042・651・2012)は、0・3マイクロ―5・0マイクロメートルの極微細パーティクルに対応した温水引き上げ...
有機および無機層を重ねて封止膜を形成しているが、これではパーティクル、厚み、柔軟性、生産性、コストなどの問題が生じてしまう。
凝集体の大きさが100ナノメートル(ナノは10億分の1)から10マイクロメートル(マイクロは100万分の1)までの領域をサブ・ビジブル・パーティクル(SVP...
バッチ式蒸着機OTFCシリーズ(写真)のほか、ロードロック式スパッタ成膜装置、インライン式防汚膜成膜装置、反応プラズマ成膜装置、光学膜厚計システム、RFイオンソース、低パーティクル対策...
島津製作所が取り組むのは、効果的な解析方法が確立されていないサブ・ビジブル・パーティクル(SVP)と呼ばれる1マイクロメートル(マイクロは100万分の1)前後の凝集体の...
スリッターやシートカッターでは、刃物や搬送装置である巻き取り装置を適正化しホコリ(パーティクル)の発生が少なく、高精度の切断が行える。
シリコンウエハーに集積回路パターンを転写する際、原板となるマスクにつくちり(パーティクル)もその一つ。パーティクルの除去には超純水や薬品による複数回の洗浄が必要で、除去しても再付着する...
吸音材の不織布とグラスウールをフッ素樹脂シートで包み込んでパーティクル(微粒子)発生を抑え、クリーンルーム向けとした。
新開発した小口径(8ミリメートル)の金属ダイレクトダイヤフラム(仕切り板)を採用し、開閉時のパーティクル(微細ゴミ)発生をなくした。
例えば音の出る押し出し式ボールペンを使えばパーティクル(微粒子)が発生するため使用を禁じるといった、社会人としての道理をわきまえた行動を促す。